中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9244813 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2800は材料のための完全に自動化された熱処理の解決を提供するように設計されている急速な熱プロセッサです。このプロセッサは、高度な熱均一化、酸化/還元機能、および半導体プロセスの範囲の急速なサーマルサイクリングを提供します。高速なデータ収集と報告システムにより、結果の再現性とシステム制御の向上が保証されます。この高速サーマルプロセッサは、GaAsウェハヒーター、熱電クーラー、Hブリッジコントローラ、アプリケーション制御およびプロセス監視で構成されています。これらのコンポーネントを使用して、プロセッサは、処理サイクルとアニーリングサイクルの両方で、単一または複数のウェーハのための高度な熱調整を提供することができます。それは-160°Cから+850°Cに範囲の精密な温度のプログラミングを、提供します。ウェーハ全体の低熱勾配は、全期間の処理サイクルにおいて高精度な温度制御によって達成されます。プロセッサは、1回の実行で最大9つの積み上げウェーハまたは基板、または12の異なるレートとエネルギーで複数の実行を収容できます。さらに、統合されたセンサは、熱プロセスを監視するためのリアルタイムデータを提供し、より厳格なプロセス制御を可能にします。このデータは、プロセスパラメータを更新し、最適なプロセス結果を得るための予測モデルを作成するためにも使用できます。このシステムにはAutoTuneソフトウェアが搭載されており、コアプロセスパラメータだけでなく、ヒータータイプ、ヒーター出力、ヒーター速度も最適化できます。さらに、選択的なエッジ加熱機能は、加熱されたウェーハエッジのパッシベーションに役立ち、誘電体の整合性の問題を防ぎます。AST 2800の自動システム制御および監視機能により、太陽光発電およびLED製造における急速な熱処理アプリケーションに最適です。オールインワン設計により、セットアップ、操作、プロセス検証が簡素化され、再現性と信頼性の高い結果が保証されます。さらに、このプロセッサは既存の生産ラインと統合することができ、温度検出と制御の完全な統合を提供します。