中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9185557 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2800は、高温アニーリングおよびリソグラフィープロセス用に設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。この装置は、高出力のマイクロ波源と特別に設計されたグラファイトサセプターを使用して、薄膜材料の迅速で局所的な加熱を可能にします。RTPは50-600°Cの範囲で均一な温度プロファイルを提供し、最大熱露光時間は2msにもなります。また、最大2mmの小さなサンプルの広範囲にわたる再現可能な温度プロファイルも可能です。このシステムは、人間工学に基づいたサンプル封じ込めユニットを備えた特別に設計されたアプリケーションチャンバーを使用しています。これにより、迅速な処理に効率的かつ安全な環境を提供し、サンプル移動を必要とせずに正確な温度制御を実現します。精度をさらに高めるために、このマシンは一連の精密なモーションコントロール要素とフィードバックメカニズムを利用しています。シングルカメラのCCDイメージングツールを使用して、熱処理中のサンプルの進行状況を監視できます。この光学アセットは、広い視野（最大40°）と大きなピクセルサイズを備えており、急速に変化する熱特性の高分解能イメージングを可能にします。さらに、ハイダイナミックレンジモデルにより、複数の領域の温度マッピングが可能になります。RTPは、さまざまな革新的な薄膜材料およびアプリケーションと互換性があります。それはポリシリコン、窒化ケイ素、二酸化ケイ素および高温アニーリングおよびリソグラフィーのプロセスのための他の材料との使用のために適しています。また、様々な薄膜の熱衝撃を測定し、様々な熱処理技術に最適なアニール時間を迅速に決定する急速過渡温度実験にも適しています。最後に、RTPは、高い制御精度と結果の再現性を備えた優れた機器安定性を提供するために開発されました。また、低消費電力と低ノイズ動作を備えているため、機密検査用途に最適です。