中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9159583 を販売中
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ID: 9159583
Single chamber RTP system, 8"
Dual load lock
Facilities / General configuration:
30L N2 High:
50psi @ Facilities, 2bar @ tool, dynamic (full N2 flow)
60psi @ Facilities, 2.8bar @ tool, static (no N2 flow)
10L O2 High:
40psi @ Facilities, 2bar @ tool, dynamic (full O2 flow)
42psi @ Facilities, 2.5bar @ tool, static (no O2 flow)
O2 Low: 40psi @ Facilities, 2bar @ tool, dynamic (full O2 flow)
42psi @ Facilities, 2.5bar @ tool, static (no O2 flow)
10L Ar:
40psi @ Facilities, 2bar @ tool, dynamic (full Ar flow)
43psi @ Facilities, 2.5bar @ tool, static (no Ar flow)
CDA:
Facilities: 90psi
Tool: 5.5 Bar
Chamber high cool:
Bottom: 17/18 m3/h
Top: 26/27 m3/h
Chamber H20 cooling:
Facilities: 6.8LPM
TC Amplifier test with omega meter:
Setpoint Feedback
1000C 1001.5
800 800.5
600 599.6
400 398.8
O2 Sensor final testing:
30L N2 flow in chamber @ 30 second: 3ppm O2
5L N2 flow in chamber @ 60 seconds: 4-5ppm O2
Robot station names:
A: Primary sender
I: Secondary receiver
F: Furnace
D: Cooling station 0
No cooling station 1
C: Dummy wafer station
Pyrometer calibration:
Un-calibrated pyrometer check: Pyro 878C output at 1080TC with emis1300
Calibration recipe: TOMCAL.2
Calibration file: TRCAL0923
Network setup:
Serial GemSecs
Expansion board: COM8
GEMBOX.INI Host: localhost
SHSCFG.INI Gembox host: localhost
RTP:
No physical dummy wafer station
MFC:
TYLAN Gas panel
TYLAN O2 Sensor
EQUIPE 307 robot
No swivel cassette stations
Gasbox above rear of tool: (supplies MFCs):
N2, N2, O2, H2Mix, Ar
Facilities connections at bottom rear of tool:
CDA: SWAGELOK 90-120PSI, 1/4"
PCWS: SWAGELOK 8slpm, 1/2"
PCWR: SWAGELOK 60-120PSI, 1/2"
PCWS: SWAGELOK, 1/2"
PCWR: SWAGELOK, 1/2"
HiFlow N2: SWAGELOK >90PSI, 1/2"
Cooling N2: SWAGELOK 10-30SLPM, 1/4"
Vent1 / Vent2 (Acid exhaust): SWAGELOK, 3/8"
11/2 Inch exhaust: 11/2 Inch tube Acid exhaust
Middle bottom of tool:
Blower output (Heat exhaust): 4" Tube
Front of tool:
House vacuum: SWAGELOK 600 mbar, 1/4"
Electrical requirements:
Power consumption: 43 kVA
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Current per phase: 125 A
125 Max fusable
Missing parts:
(1) Endeffector universal, 47900058
(1) Tube AST furnanec 8in, 58700001
(2) Quarts tray elbow, MATTSON Technology, 58800003
(1) Tray quarts wafer, MATTSON Technology, 58900085
(1) Plate top liner plates, LTD Materials, Inc., 11823-000
(2) Fiber optic cable IPC-ILC, 19200195
(1) Plate hotliner 8 IN, MATTSON Technology, 47800189
(1) Pyrometer AST 2800, MATTSON Technology, 17000164
(1) Controller AST Pre-Aligner, ESC-201
(1) Harddrive AST SEAGATE 160GIG, ST3160318AS
(1) ILC, PCU 2.4g SEIMENS, ILC-3
(1) Robot, ATM-307, PRI, ATM-307
(1) Pre-Aligner, 8 inch, PRI, PRE-201B
(1) Temp controller PCB
(6) IGBT
(2) Outer door panels.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Rapid Thermal Processorは、エレクトロニクス業界の高度なアプリケーションに使用される半導体加工ツールです。これは、今日の高度な半導体チップの生産だけでなく、明日の最も要求の厳しいパッケージのために設計されています。AST 2800は、熱制御システムとアプリケーションチャンバーの2つの主要コンポーネントで構成されています。サーマルコントロールシステムは、優れた温度均一性と温度安定性を備え、低熱勾配と高速、反復可能なランプアップとダウンタイムのランプを備えています。-160°C〜700°Cの正確で柔軟な温度範囲で、STEAG AST2800は、最も繊細なウエハやコンポーネントにも対応できます。また、正確な時間と温度制御機能を備えているため、幅広いプロセスの正確な設定が可能です。この熱制御システムは、中高出力プロファイルと急速なサーマルサイクル時間に最適化され、より高いスループットを実現します。アプリケーションチャンバーには、底面、上面、不活性、窒素の4つの独立した制御可能ゾーンがあり、環境制御用のガス導入用のプロセスポートも含まれています。このチャンバーは常に圧力安定性を確保し、さまざまなプロセスに柔軟性を提供します。また、ウェーハやコンポーネントのロード、アンロード、取り扱いにも幅広いオプションが用意されています。2800 Rapid Thermal Processorは、Cuピラーやコアレスフリップチップアタッチなどの高度な高度なパッケージングアプリケーションに最適で、大量の生産ニーズにも適しています。高解像度の温度制御機能と堅牢なチャンバー設計により、AST2800は最も要求の厳しいチップ生産に最適なツールです。
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