中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9154640 を販売中
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販売された
ID: 9154640
ウェーハサイズ: 6"
Standalone RTP system, 6"
208V 43KW
Robot: ESC-305
Aligner: PRE-200
Gas line: 6 lines
IPC O/S: WIN 2000
(38) Lamps
Pyrometer : Dr Maurer
ILC version : ILC3
SHSp software ver : 1.6.1.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Rapid Thermal Processor (RTP)は、薄膜や半導体から金属、高分子材料まで、様々な材料を実験室で迅速かつ正確に温度制御するための装置です。AST 2800は、1300°C (2370°F)までの反応チャンバー温度で、急速な加熱と正確な温度制御を提供します。このデバイスは、20インチの垂直または水平の水晶チューブを備えた不活性な大気、統合されたN2環境構成コンパクトプロセッサです。加熱装置は18kW誘導/マイクロ波周波数であり、室温から最大温度までのシングルラン加熱を約10分で可能にします。温度変化の最大速度は800°C/minまでです。このデバイスには、制御された酸化および窒化プロセス用の高度なガス投与システムも装備されています。STEAG AST2800は、プロセスに応じて、オープンまたはクローズドサイクルで使用でき、温度を監視し、白金抵抗温度計で制御します。このデバイスは、抵抗、放射率、導電率などの熱電診断プローブを使用して、その場の材料特性を測定するためにも使用できます。このユニットは、完全な機械管理と接続性を備えたデータ入力、出力、およびプログラミング用のコンピュータインターフェイスによって制御されます。STEAG 2800には、自動シャットオフやプログラム可能な過熱保護など、過熱やエレメントの燃焼を防止するいくつかの安全機能もあります。このデバイスは、高温精度と精密な熱制御により、材料の研究開発に特に適しています。全体として、MATTSON AST2800 Rapid Thermal Processorは、さまざまな材料の温度制御において高精度で高速な実験室を提供する先進的なデバイスです。急速加熱、ガス投与ツール、安全機能などのその機能は、2800研究開発のための信頼性と効率的なツールになります。
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