中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9137937 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2800は、半導体ウェーハの急速、均一な加熱および冷却用に設計されたラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。この装置は、さまざまな温度検出および制御操作に非常に汎用性が高く効果的な熱工具であり、研究および生産アプリケーションに最適です。AST 2800は、チャンバーあたり25 cm×25 cmのプロセスエリアを備えた信頼性の高い正確なデュアルチャンバー設計を特徴としています。この可用スペースの拡張により、ユーザーは複数の基板を積み重ねることができ、スループットと生産性が大幅に向上します。さらに、プロセスエリアを保護し不活性ガス流量システムが包み込み、半導体材料の汚染を防ぎます。高いスループットは、短いサーマルサイクル時間によってさらに強化され、通常は数秒で最大1200ºCの温度に達することができます。高精度な温度とプロセス制御は、STEAG AST2800の利点です。これは、セットポイント、ドウェル時間、ランプレート、および最大温度を操作できる高度なPIDベースの制御ユニットにより可能です。これらのパラメータに加えて、このマシンにはプロセスアプリケーションを最適化するための高度なローフローロジックが含まれています。これにより、温度制御と工具の精度をさらに高めることができます。精密温度制御と急速なサーマルサイクル時間は、AST AST2800技術的に複雑なハードウェアおよびプロセス操作に最適な特性です。2800の信頼性、正確性、効率性により、ミッションクリティカルなプロセスに最適です。グラファイトサセプター加熱素子と独自の直接冷却アセットにより、欠陥の可能性が大幅に低減され、信頼性の高い半導体材料が得られます。また、ヒートアッププロトコルにより、ユーザーは独自の特定の加熱および冷却特性を入力することができ、サーマルサイクルと均一性を最適化する高精度な処理操作を保証します。結論として、MATTSON 2800は信頼性が高く、正確で効率的な急速熱プロセッサであり、ハイテクプロセスアプリケーションに最適なツールです。このモデルは、サーマルサイクリング時の保護のための不活性ガスフロー装置と、チャンバーあたり25cm×25cmのプロセスエリアを備えたデュアルチャンバー設計を提供し、スループットを向上させます。高度なPIDベースの制御システムは、ユーザーが正確な制御のために特定の加熱および冷却パラメータを入力することができます、独自のヒートアッププロトコルは、サーマルサイクリングを最適化しながら、。これらの機能を組み合わせることで、MATTSON AST2800は信頼性と正確な熱処理に欠かせないツールとなります。