中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9092796 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2800は、半導体デバイスの急速な熱アニーリングに使用される急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。この装置は、高効率の熱伝達システムを備えており、正確で均質な温度プロファイルを保証します。単位は理想的な温度を監視し、維持する高度制御システムが装備されています。このマシンは、完全なウェーハ全体に均一な温度プロファイルを提供するように設計されており、熱均一性を保証する高度な温度プロファイリングツールが装備されています。アセットの高度で高効率な熱伝達モデルは、多段式熱伝達段を使用して所望の温度を達成します。この構成により、装置は500 （w mm ）/100 （w mm2）まで広い表面積を加熱することができます。このシステムは、より高いスループットと高速処理速度のための熱応答時間を最小限に抑える低熱質量を備えているように設計されています。このユニットは、多くの安全機能を備えています。これにはフェイルセーフな環境制御マシンが含まれており、ツールは非標準的なプロセス環境で安全に動作することができます。また、自動シャットオフシステムを備えており、緊急時に資産がシャットダウンすることを保証し、プロセスガスの異常を検出および検出する圧力センサーを備えています。性能面では、効率的な温度制御装置と非常に効率的な温度プロファイルを備えています。また、プロセス全体で高いレベルの再現性と精度を可能にするように特別に設計されています。さらに、システムはモジュラー設計で設計されており、数秒でさまざまなアニーリング技術の間を遷移することができます。全体的に、AST 2800は、優れた性能と信頼性の高い動作を提供するように設計された汎用性と効率的な急速なサーマルプロセッサです。堅牢な安全機能、高度な熱制御、高効率熱伝達ユニットにより、幅広い半導体アプリケーションに最適です。