中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9038290 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2800は、研究開発およびウェーハ生産用に設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。マルチモードツールであり、酸化、アニール、拡散、スパッタリングなどのいくつかの熱プロセスを実行することができます。AST 2800は2つのプロセスチャンバーを使用しており、1つは誘導コイルを含み、もう1つは赤外線ソースです。STEAG AST2800の主な特徴は、高温で高速な処理能力です。コイルと赤外線源は、急速な熱処理を使用して、ウェハまたは基板の温度をそれぞれ1000°Cおよび1500°Cまで上げることができます。高い処理温度により、シリシデーションや位相変換などの素早く正確な基板変更が可能です。MATTSON 2800には高度な制御システムも装備されています。Vacuumschmelze高度なマイクロプロセッサ技術で設計されており、オペレータの介入を最小限に抑えて正確な温度と時間制御を可能にします。高度な制御システムは、プロセス全体の温度の均一性を維持するのにも役立ち、したがって最終製品の均一性を保証します。さらに、STEAG/MATTSON/AST AST2800は、複数のプロセスを一度に実行できる多機能システムです。これは、2つのプロセスが同時に行われることができるデュアル急速熱帯を持っています。この機能により、複数のプロセスを同時に実行することで、処理スループットを大幅に向上させることができます。AST AST2800には、簡単な操作を可能にする包括的なソフトウェアプラットフォームも付属しています。ソフトウェアプラットフォームは、リアルタイムのプロセス制御データ、詳細なウェーハ履歴追跡、レシピ、およびプロセスアーカイブを提供します。これにより、スムーズなウェーハ処理が可能になり、各プロセスのパラメータをより適切に制御できます。全体として、AST2800は、優れた精度、温度の再現性、およびスループットを提供する信頼性の高い高度な急速なサーマルプロセッサです。高温、高速サイクル、徹底したプロセス制御機能により、さまざまなアプリケーションやプロセスに非常に役立ちます。