中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #293621529 を販売中

AST/STEAG/MATTSON/AST 2800は、高度な熱処理と高度な冷却技術を使用して、高度なマイクロエレクトロニクス材料を正確に制御および処理する高速急速熱処理プロセッサです。この技術は速い冷却時間の速いサーマルランプ率、精密な温度調整および堅い均等性の性能を提供します。AST 2800は酸化物の沈殿およびエッチング、拡散、アニーリング、フォトリソグラフィおよびテストのような高温適用の広い範囲のために設計されています。この装置は独自のX-Y制御ウェーハ位置決めシステムを採用しており、プロセスサイクル中に外部の動きなしで正確な熱処理を行うことができます。STEAG AST2800には、4つの高度な熱帯域と4つの垂直方向のガス注入シリンダがあり、プロセス中に精密なガスを供給します。STEAG 2800は、高度なマイクロプロセッシングおよび計装ユニットを使用して、信頼性の高い反復可能な性能を提供します。マイクロプロセッシングマシンは、高度な温度、ランプ、およびサイクルプログラミングで高速かつ正確な熱制御を提供します。計装ツールは、温度、温度の均一性、SOI（関心のある表面）温度、およびガス圧力の精密な監視と制御を提供します。MATTSON 2800は、クラス10のクリーンルーム環境で動作するように設計されています。それは非常に堅い温度の均等性の許容内の正確な、反復可能な性能を保障するように設計されています。また、幅広い基板サイズに対応できるほか、各種ウェハハンドリングシステムにも対応しています。STEAG/MATTSON/AST AST2800は、温度アルゴリズム制御を含むさまざまな温度制御方法を提供します。このアルゴリズムは、時間変化する熱処理の間の熱応答の不一致を補うために使用されます。このモデルは、加熱、冷却、インテリジェントな温度制御など、さまざまな温度調節方法も提供しています。2800は高度のマイクロエレクトロニクス材料のための高度の熱プロセッサです。その高速で精密な温度制御と、カスタマイズされたサーマルランプとサイクルプログラミングにより、さまざまな高温プロセスに理想的なツールとなります。