中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #101676 を販売中
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販売された
ID: 101676
ウェーハサイズ: 8"
RTP system, 8"
Front side:
Monitor - Front LCD
Cassette station: 2 station
Rotation disabled
Cassette Size : 8"
Cooling Station
Dummy Station, not original but modified
Pre Aligner
Robot
Endeffector, not original but modified
Slot Sensor, missing
Keyboard-Front
Floppy Disc
Signal Tower: 4 colors
EMO switch
Door Plate
Back side:
EOCU
BLCU
Control Rack 1 Power Supply 1
Power Supply2
Power Supply3
Power Supply4, missing
MCU
LCCU
LCL1
LCL2
Control Rack 2, SLCU1, missing
SLCU2, missing
LVU, missing
LCU1, missing
LCU2, missing
WCU1, missing
WCU2, missing
O2 Display
TCA
PCU
PDCU
PIO
PDU
PSU
Control Rack 3, PVU1
PVU2
SMB
PVC, missing
DVU
WVU, missing
ILC Rack controller:
Power Supply
PWM1
PWM2
ILC POD
INT (= STATUS)
MIB
SEC
EPC 486
Gas box:
N2 30 SLPM
O2 10 SLPM, O2 100 sccm
MFC & Gas Filter, NH3 10SLPM, Missing
Ar 10 SLPM, Missing
Temperature:
Pyrometer
Optic sensor
Tube TC
Service console:
Touch Screen - Rear
Keyboard - Rear, Missing
IPC:
Main Computer
Vacuum pump:
Vacuum pump, missing
Sensor:
O2 MFC
Power Supply
Display Meter
O2 Sensor
O2 Pump, missing
Quartzware:
Tube, Missing
Tray, Missing
Pin for tray, Missing
Distribution plate(T), Missing
Distribution plate(R), Missing
Door aperture, Missing
Elbow, Missing
O2 sensor pipe, Missing
Liner plate(Top), Missing
Liner plate(Bot), Missing
Hot Liner , Missing
Edge guard ring, Missing
Pin for cooling station, missing
Other:
UPS, n/a
TC wafer(S-Type), Missing
TC feed through
Can be inspected.
STEAG/MATTSON/AST 2800は、分析および科学研究における熱プロセスの温度調節を容易かつ正確に行うために特別に設計された急速なサーマルプロセッサです。このプロセッサは-95°Cから500°Cの温度範囲を持ち、特許取得済みの空気液体/水冷技術により、その範囲内で温度を迅速かつ効率的に調整できます。この急速なサーマルプロセッサは、サンプルを保持する反応チャンバをスパーク防止（STST）容器に置き換えることによって動作します。容器の中のサンプルの温度は熱電モジュールによって直接調整され、次に精密な温度調節器によって監視されます。プロセッサは静的または動的動作モードでも実行できます。静的動作では、チャンバー内の温度は、所望のサーマルサイクルが開始される前に安定化することができます。動的モードでは、温度は所望の結果を達成するために時間をかけて上下に傾斜します。また、このプロセッサは強力な真空ポンプを使用しており、熱プロセス中に迅速かつ正確な圧力制御を提供するだけでなく、温度変動を低減するのに役立つチャンバーの周りに調整可能なエアカーテンを備えています。また、補助加熱機能により薄膜蒸発が可能です。プロセスパラメータやモニタリング操作を入力するためのユーザーフレンドリーなタッチスクリーンパネルと、PCにデータを転送できるインターフェースを備えています。AST 2800には、さまざまな安全機能が搭載されています。温度が過剰になると自動的にシャットダウンでき、停電時の自動起動機能を備えています。また、サンプルの酸化リスクを排除する独自の中性ガス保護システムを備えています。全体的に、STEAG AST2800は強力で信頼性が高く、非常に精度の高い高速サーマルプロセッサです。その効率的な操作、安全機能の範囲、使いやすさ、およびデータ転送機能は、あらゆる研究室や研究環境に適しています。
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