中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9195879 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2800イプシロンは、ハイスループット動作用に設計された先進的なサーマルプロセッサです。ホットウォール炉、ウェーハトランスファーロボット、コントローラを備えた1台のユニットプラットフォームを備えたコンパクトで自己完結型の楽器です。研究と生産の両方の要件に理想的な、この急速なサーマルプロセッサは、一貫した結果を確保するために精密な温度制御を利用します。AST 2800イプシロンは、24個の高エネルギークォーツランプを備えたホットウォール設計を特徴としています。急速な熱アニーリングのために、この単位は蒸着の均一性を高めるためにウェーハを渡る熱の均一な配分を提供します。ランプは、より高い温度とより一貫した均一性を可能にするために、ゲート状の構成に配置されています。STEAG 2800イプシロンは600°Cまで温度に達することができ、1°Cの内で温度調整の正確さを維持します。MATTSON 2800 Epsilonに搭載されたウェーハ搬送ロボットは、最大積載量50gの20mm x 150mmウェーハサイズに対応可能です。高速でも信頼性の高い正確なウェーハ処理を実現し、よりスムーズで高速な試料処理を実現します。さらに、2800 Epsilonには、熱の不均一性を最小限に抑えるように設計された高度な温度および真空制御システムも搭載されています。STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilonの高度なコントローラを使用すると、必要なパラメーターをすべて使用して最大20個のレシピを保存できます。これには、サイクルタイム、プロファイルセットポイント、冷却速度、およびその他の重要なプロセスパラメータが含まれます。ユーザーフレンドリーなグラフィックタッチスクリーンは、シンプルで直感的な操作を可能にします。AST 2800イプシロンは、ウェーハの急速熱処理に最適なソリューションです。高精度の加熱機能、自動ウェーハ転送、直感的なコントローラを備えたこの急速なサーマルプロセッサは、最高の効率と精度を得るために設計されています。