中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9139817 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9139817
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
RTP System, 8"
System power: 43kw,208V, 60Hz
Software version: Windows NT4.0 SHS 1.42
Front door type: Auto
Chamber door type: Cylinder type
Carrier stage rotation: Rotation
Monitor front / rear: 2EA
Gem interface
4-Color signal tower
UPS System
(2) Gas inlet: Bottom
Stage assign Cool stage Dummy stage Process stage
Total: 5EA 2 1 2
Gas system Model Gas Name Scale
MFC1 Unit UFC-8160 N2 30L (A2093010302)
MFC2 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010702)
MFC3 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010602)
MFC4 UNIT UFC-8160 N2 10L(A2093010802)
MFC5
IPC Module: Booting check
ILC Module:
Power Supply check
PWM Board 1,2 Check
POD Board check
INT Board check
MIB Board check
SEC Board check
EPC486 Hard drive check
Control rack 1:
EOCU(ECCU) Board check
BLCU Board check
MCU Board check
Power supply check (1~4)
Control rack 2:
LCCU Board check
LCL 1,2 Board check
SMB Board Check
SLSU Board 1,2 check
LVU Board check
LCU Board X2 check
WCU Board U check
TCA Module check
Control rack 3:
PCU Board check
PDCU Board check
PIO Board check
PDU Board check
PSU Board check
PVC Board check
PVU Module check
WVU Board check
DVU Module check
Robot:
Controller check
Moving check
Aligner:
Controller check
Align check
O2 Analyzer:
Display unit check
Sensor unit check
Pyrometer check
Terminal box check
Lamp: Fail check (1 ~ 38 )
2002 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilonは、デバイス処理の効率的なスループットのために半導体および電子産業で使用されるRapid Thermal Processor （RTP）です。AST 2800イプシロンは、最先端のホットおよびコールド処理機能を利用することで、デバイス構造および基板の高度な熱処理を提供することができます。時間とコストを最小限に抑えながら、高品質な結果を実現します。STEAG 2800イプシロンには2つの独立した熱処理チャンバーが装備されており、それぞれ1100°Cまでの温度に達することができます。各チャンバーには、最新の基板加熱、冷却、およびサーマルサイクル機能も装備されています。これにより、多種多様な熱プロファイルを実現できます。2800イプシロンの精度と精度は、高度な温度制御システムとフィードバックプローブによって保証されます。温度測定は、プロセスが実行される間、チャンバーの上部、下部、および側面に提供され、潜在的な不均一な加熱を排除します。MATTSON 2800イプシロンのプロセスチャンバーには、さまざまなタイプの容器を使用できます。これには、石英、アルミニウム、セラミック、ガラス容器が含まれます。チャンバー内のアライメントピンは、プロセスが進行中に容器が回転するのを防ぎます。両方のチャンバーのプロセス流体は、不純物から容器の壁を保護するためにろ過することができます。これは、金属フィルター、フィルムフィルター、メンブレンフィルターなどのさまざまなフィルターで行われ、その場でインストールすることができます。STEAG/MATTSON/AST 2800イプシロンの加熱冷却システムは、高速で均一な熱処理を提供するように設計されています。高性能コントローラの助けを借りて、両方のチャンバは、独自に極端な精度で温度とタイミングを制御することができます。この同時設計により、時間とエネルギーを節約し、より迅速で効率的な熱処理を可能にします。AST 2800 Epsilonはまた、さまざまなシステムデータログ、重要なエラーアラート、およびその他の機能を提供する統合されたデジタル制御システムを介してリモート監視と操作の柔軟性を提供します。また、使いやすさのための高度なユーザーインターフェイスを提供しています。全体的に、STEAG 2800イプシロンは高度なRTPであり、さまざまな基板およびデバイス構造の均一で迅速かつ正確な熱処理を提供することができます。強力なコントローラ、高速なサーマルサイクル、簡単なユーザーインターフェイスを通じて、デバイス処理にエネルギー効率が高く費用対効果の高いソリューションを提供します。
まだレビューはありません