中古 STEAG / MATTSON / AST 100 #9190168 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 100の急速な熱プロセッサはさまざまな研究および産業適用のために設計されている高度の熱処理装置です。シングルステージのシングルチャンバーアプローチにより、サンプルと基板の間で急速な熱処理と直接熱伝達を提供します。システムは抵抗発熱体を使用し、そのユニークなアーキテクチャは、熱およびプロセスパラメータの広い範囲を提供します。これにより、ユニットはさまざまな熱処理アプリケーションの要件を満たすことができます。この機械は、高温、低熱伝導性の石英チャンバーを使用して、熱絶縁環境を作り出します。この設計では、熱安定性と低熱質量が最も重要な2つの特徴です。チャンバーはサンプルを均一に加熱し、低質量で高い熱伝導率で迅速な温度応答を実現します。チャンバーはまた、急速な加熱および冷却サイクルを可能にし、急速な熱処理およびアニール用途に適しています。このツールには、開発コンピュータ、石英炉、抵抗発熱体、温度、圧力、流量センサ、および制御資産が含まれます。温度制御用のPID制御ループ、プロセスタイマー、圧力制御、プロセスモニターなどの追加制御機能を備えています。このモデルは、追加のサンプル負荷を制御することもできます。この装置は、極端な温度でも正確な温度制御と加熱プロファイルを提供することができます。金属、ポリマー、半導体材料など様々な基材を加工することができます。それはまたRTPおよび急速なアニーリング、また他の急速な熱処理の適用の広い範囲に使用することができます。AST 100は高度の熱処理の適用のための理想的なシステムです。シングルステージのシングルチャンバーアーキテクチャは、極端な温度で優れたプロセス制御と熱安定性を提供します。その独特な設計はまた精密な温度調整および暖房のプロフィールを可能にし、それをいろいろな処理の適用のために適したようにします。