中古 STEAG / AST / MATTSON Helios #9235480 を販売中

STEAG/AST/MATTSON Heliosは、精密かつ正確な熱制御を使用してウェーハ基板のハイスループット熱処理を可能にする急速なサーマルプロセッサです。AST Heliosは、最も厳しい産業計測要件を満たすように設計されており、1つのウエハ上で基板の完全に自動化された精密配置と迅速なアニール時間を提供する唯一の装置です。このシステムは、処理中に基板の温度と位置を測定および追跡する高度な追跡技術を利用しています。STEAG Heliosは、アニーリングモジュールとローディング/アンローディングモジュールの両方で構成される高性能の高速サーマルプロセッサです。アニーリングモジュールには、高分解能の差動スキャンカロリメータ（DSC）と誘導加熱ユニットが含まれています。このマシンはまた、高度な6軸モーションコントロールプラットフォームを使用して、アニール中に試験片を正確に配置するだけでなく、プロセスを制御するための洗練されたソフトウェアも使用します。ヘリオスのローディングとアンローディングモジュールは、ロボットアームを使用して、カセットからアニール段階にサンプルを輸送し、再び戻します。このモジュールには、試験片の位置を認識し、基板の正確かつ再現可能な位置決めを保証する統合ビジョンツールと、サンプルの完全性を保証するエンドエフェクタセンサーも含まれています。MATTSON Heliosはまた、自動大気制御のための完全に統合された環境チャンバーを備えています。この環境チャンバーには、処理中の大気とガスの流量を制御するための複数のチャンバー、高圧ガス供給資産、およびプログラム可能な温度と湿度制御があります。環境チャンバには、チャンバ内の環境の均一性を監視する温度監視モデルも含まれています。最後に、STEAG/AST/MATTSON Heliosは、装置を制御するための使いやすいグラフィカルインターフェイスを提供する自動ユーザーインターフェイスを利用しています。このユーザーインターフェイスには、熱処理サイクル中のデータのキャプチャ、リモート制御、および分析を可能にする統合ソフトウェアスイートも含まれています。ソフトウェアスイートには、アニールサイクルを最適化するためのツールや、温度と位置のリアルタイム監視も含まれています。全体として、AST Heliosはウェーハ基板に精密かつ正確な熱制御を提供する高度に最適化された急速なサーマルプロセッサです。このシステムは、最も厳しい産業計測要件を満たすように設計されており、統合されたオートメーションと高度なソフトウェア機能により、高スループットの熱処理に理想的なソリューションとなります。