中古 STEAG / AST / MATTSON Helios #9219024 を販売中

STEAG/AST/MATTSON Heliosは、Rapid Thermal Processing （RTP）の技術を利用した急速なサーマルプロセッサです。半導体ウェーハの製造において、高スループットで費用対効果の高いプロセスです。AST Heliosは、アニーリング、拡散、酸化プロセスを含む複数のアプリケーションで、正確で反復可能で効率的な熱処理を提供するように設計されています。この装置は、統合可能な炉の設計、複数の測定機能、および統合された安全機能で構成されています。STEAG Heliosは、1100°Cの温度に達することができる2つの加熱ゾーンと2つの冷却ゾーンを備えた汎用性の高い炉の設計を利用しています。このプロセッサは、30〜500°C/秒の温度遷移と10〜60秒の居住時間で、急速な熱プロファイルを正確に制御することができ、高速で正確な処理に適しています。さらに、プロセッサのガス供給システムは、大気制御の柔軟性を提供し、窒素、酸素、およびアルゴン型の大気を作成することができます。ユニットの安全性を確保するため、プロセスチャンバーにはガスモニター、圧力センサー、熱電対、密閉ドアインターロックなどの冗長安全測定が装備されています。MATTSON Heliosは、ウェーハポテンシャルを監視する光学ピロメータを内蔵したチャンバー内のプロセスを正確に監視し、セットポイントから2mA以内の温度を調整することができます。プロセッサは、他の機器と統合し、コンピュータのサポートに依存しない制御プラットフォームを利用するように設計されており、目的のプロセスパラメータを簡単かつ迅速に設定できます。さらに、プロセッサには操作と制御を容易にするためのユーザーフレンドリーでグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が装備されています。Heliosは、半導体ウェーハ製造における複数のアプリケーションに対応する効率的で効果的なラピッドサーマルプロセッサであり、多様な製品およびプロセスの最高品質要件を満たすように設計されています。このマシンは、温度プロファイル、安全機能、統合された光学ピロメータ、および簡単な操作のためのユーザーフレンドリーなGUIの正確な制御を提供し、急速な熱処理に最適です。