中古 STEAG / AST / MATTSON Helios #9193169 を販売中
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販売された
ID: 9193169
ウェーハサイズ: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
RTA / Spike anneal
Pressure: ATM
Temperature: 1150°C
Front interface: (3) Load ports
Front end: Ball room
Platform:
RORZE Robot 700 Dual arm
Upper arm: Metal blade
Lower arm: QUARTZ Blade
Type: TDK
TAS300
RFID Foup reader
GEM: Ethernet (HSMS)
MATTSON MMC (P/N: 3001068)
MATTSON Sequencer (P/N: 17002560)
MATTSON I/O Controller (P/N: 17000910)
(8) Cooling stations
(4) Dummy stations
Process module 1, 2:
MATTSON Wafer pyro (P/N: 17001048)
MATTSON Lamp pyro (P/N: 17001040)
MFC Model unit
Gas 3 / UFC 8100 / N2 / 20 SLM
Gas 4 / UFC 3101 / N2 / 150 SLM
Gas 7 / UFC 8100 / O2 / 20 SLM
Gas 8 / UFC 3101 / O2 / 150 SLM
Gas 9 / UFC 8100 / O2 / 2 SLM
Process Quartzware: Standard
Electric:
Transformer
UPS Internal
Power supply: 480 V.
STEAG/AST/MATTSON Heliosは、さまざまな材料の熱処理を迅速かつ正確に容易にするように設計された急速なサーマルプロセッサ(RTP)です。急速熱処理(RTP)と呼ばれる技術を利用して、基板や材料を素早く立ち上がり冷却し、さまざまな精密な熱処理を行うことができます。このRTPの背後にある高度な技術設計は50°Cから1300°Cに温度を急速に操作することを可能にします。さらに、装置はわずか2秒でそれを行うことができ、それは多くの異なる材料の迅速な処理のための非常に信頼性の高いツールになります。AST Heliosは、高純度の大気中の基板の高品質で均一な熱処理を提供するだけでなく、他のさまざまなプロセス雰囲気を提供します。また、大型基板ウエハ全体で優れた熱均一性を維持することが可能であり、金属、ポリマー、シリコンおよびシリコン系の化合物を含む多くの基板材料で信頼性と再現性を確保します。さらに、このユニットは高度な光学ピロメーターと特注メタルハライドアークランプを備えており、優れたレベルのプロセス制御と監視を提供し、すべての熱処理が簡単に再現可能で正確であることを保証します。これにより、基板が治療期間中も最適な状態で維持されるように、急激な温度変化を監視して対応することができます。また、このマシンは戦略的な構造のために本質的に堅牢です。その産業等級の振動吸収材および精密な機械テーブルの動きシステムはプロセスが正確そして効率的に遂行されることを保障します。全体として、STEAG Heliosは、幅広い材料加工および研究プロジェクトに使用される信頼性が高く、非常に効果的な急速なサーマルプロセッサです。その精度、スピード、再現性、有効性はすべて、熱処理の信頼性と正確な方法を探している人のための価値のある投資になります。
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