中古 SSI Solaris 150 #9268077 を販売中

SSI Solaris 150は、多様な研究および産業用途向けに設計された急速なサーマルプロセッサです。-150°C〜1000°Cの広い温度範囲で、高速ランプレートで優れた均一なウェーハ加熱を提供します。コンパクトな設計と精密なロボットウェーハハンドリング装置を備えており、さまざまなウェーハサイズ（2"、3"、4"、5"、6"）をサポートし、シングルウェーハまたはバッチ操作用に素早く再構成することができます。Solaris 150は、均一で反復可能な熱処理のためのソリッドステートランプカップリングシステムを使用して、高度なPID制御ウェーハ加熱で設計されています。20°C/秒を超える高温ランプレートを実現し、ウェーハ温度を正確に測定するための光学ピロメータを内蔵しています。内蔵のWindowsベースのソフトウェアは、プログラム可能なレシピオプションで完全なプロセス制御の柔軟性を提供します。SSI Solaris 150にはカスタマイズ可能な制御アーキテクチャがあり、迅速なキャリブレーションとレシピ開発が可能です。直感的なタッチスクリーンコントロールを備えた高精細デジタルカラーディスプレイを備えているため、ユーザーはユニットを迅速かつ簡単に監視および構成できます。このRTPマシンには、イーサネットまたはPC経由で接続できる柔軟な通信アーキテクチャがあり、プロセスのリモート監視と制御が可能です。Solaris 150は、Photonics、 MEMS、 RF、およびマイクロエレクトロニクスのアプリケーションの厳しい品質要件を満たすために、アニーリング、窒化、酸化、拡散、再結晶、金属蒸着、および減価償却などのさまざまなプロセスを実行するように設計されています。低コストで、設置面積が小さく、均一性が高いため、研究室、大学、小規模生産施設に最適です。優れた性能と信頼性のために、SSI Solaris 150は、保護金属シュラウドや電源異常時のウェーハ転送を防止する安全インターロックなど、高度な安全機能を備えています。また、処理されたウェーハの品質を向上させるための高度な精製ツールを備えており、汚染の可能性を低減するのにも役立ちます。