中古 Q-THERM / JIPELEC JetFirst #9254046 を販売中

Q-THERM/JIPELEC JetFirstは、半導体デバイスの高速熱処理を目的とした高速サーマルプロセッサです。この高精度な熱処理装置は、1°C/秒から4°C/秒までの温度が可能であり、その優れた熱精度と精度により、多くの測定および製造プロセスに必要なツールとなります。Q-THERM JetFirst装置は、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。これらには、ホットチャックとモーター、サーマルブロック、冷却ブロック、ヒーター棒、温度制御ブロック、および統合制御システムが含まれます。ホットチャックは、加工する基板を保持する固定部品です。それは非常に熱伝導性の合金から成り、基質上の一貫した、良質の熱制御を提供するのに使用されています。モーターを使用してホットチャックを回転させ、基板表面の均一な温度を確保します。熱ブロックと冷却ブロックを使用して、デバイスは所望の温度に冷却または加熱されます。ヒーター棒は半導体基板にあらかじめ設計されたサーマルプロファイルを適用し、温度制御ブロックは所望の温度に達するとサーマルプロファイルを維持します。統合された制御ユニットは、プロセス全体を監視する責任があります。JIPELEC JetFirstマシンは、シリコン、ガラス、金属、その他の基板の加工に使用できます。それはまた急速な熱アニーリング（RTA）、急速な熱処理（RTP）、ステップ暖房か傾斜および高度の温度のプロフィールに使用することができます。これらの機能により、結晶化、酸化、沈着、ドーピングなど、さまざまな用途に最適です。JetFirstツールは、優れた性能と精度を提供します。これには、信頼性の高い加熱センサ、過熱監視、アラーム機能など、多くの安全機能があります。さらに、アセットには使いやすいグラフィカルインターフェイスがあり、簡単で直感的な制御が可能です。Q-THERM/JIPELEC JetFirstサーマルプロセッサは、半導体デバイスの熱処理を効率的に行うためのツールです。最高の精度と精度で1°C/秒から4°C/秒までの温度に対応でき、さまざまな用途に適したさまざまな機能を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと包括的な安全機能を備えたQ-THERM JetFirstモデルは、より速く、より正確で、より信頼性の高い熱処理のための優れたプラットフォームを提供します。