中古 PROCESS PRODUCTS 100 #9063019 を販売中
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ID: 9063019
Rapid Thermal Annealer, 2"
Maximum temperature: 850º C
Control section:
Power setting for slop
Dwell power limit
K-Type thermocouple
SCR Control of lamps
Water cooling around chamber
Silicone seal around door
2 Gallons/min of water
115 V, 30 Amps
N2 Cover gas.
PROCESS PRODUCTS (PP) PROCESS PRODUCTS 100は、MEMSや化合物半導体技術などの先進的な半導体アプリケーション向けに設計された革新的な急速なサーマルプロセッサです。製品の性能と信頼性を向上させるために、2段階の加熱プロセスを利用した強力で効率的でコンパクトで低コストの熱処理装置です。PP100は、処理時間、温度変化、およびエネルギー消費量の削減を目的とした完全自動化されたサーマルプロセッサです。このシステムは、90秒未満で最適化されたプロセス条件に到達する能力を備えており、必要な結果を迅速かつ正確に提供します。シングルカセットとマルチプルウェーファーの両方を1つのカセットで扱うことができます。このユニットは、2段炉モジュール、マイクロプロセッサ制御モジュール、空冷ホットプレートモジュールなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。2段炉モジュールにより、高温プロセス条件を迅速に達成できます。それは異なった温度で作動する2つの独立した、プログラム可能な水晶ハロゲンランプから成り、熱暴走および熱点を防ぐように設計されています。マイクロプロセッサ制御モジュールを使用すると、ユーザーは単一のコントローラからツール全体を監視および制御できます。温度精度とプロセス制御を確保するための熱資産モニターを備えています。空冷ホットプレートモジュールは、極めて短いプロセス時間を達成するためにローカライズ冷却を提供することができます。PP PROCESS PRODUCTS 100は、安全性と利便性を念頭に設計されています。これは、運転中にモデルから酸素、水分、および他の汚染物質を除去することにより、安全な作業環境を維持するのに役立つ窒素または不活性ガスモジュールが含まれています。また、緊急停止スイッチも備えており、安全でない状況でもシステムを迅速に停止させます。小型フットプリントに収まるように設計されており、従来の熱処理システムに関連するユニットノイズの1%未満を生成することができます。PP100は、より精度と精度の高い半導体製品を素早く加工することができるため、半導体製造業者にとって素晴らしい選択肢となります。それに優秀な温度の安定性、均等性および反復性およびエネルギー効率との90秒以下の1000°Cまで標準的なプロセス温度に達する機能があります。また、コスト効率が高く、フットプリントが小さくなるため、あらゆる半導体加工ラインに最適です。
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