中古 PREMTEK RTP 381 SA #9375022 を販売中

PREMTEK RTP 381 SA
ID: 9375022
ウェーハサイズ: 8"
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" Semi-auto.
PREMTEK RTP 381 SAは、集積回路製造プロセスで使用されるプロの急速なサーマルプロセッサです。1分以内に最大1350°Cの温度までウェーハを上げることができる高速・高温炉です。これにより、より効率的で正確な製造プロセスが可能になり、従来の炉よりも高い収率が得られます。RTP 381 SAは、直径6インチまでのウェーハに対応できるシングルチャンバー炉です。独自に操作できる2つの集中加熱ゾーンを利用したユニークなデュアルサイド加熱装置を備えています。炉の温度は精密PIDコントローラによって制御され、高度な熱画像システムで監視されます。PREMTEK RTP 381 SAの部屋は信頼できる操作および長い寿命を保障するステンレス鋼の合金から組み立てられます。操作プロセス全体が自動化され、内蔵のコントロールユニットでリアルタイムに監視できます。これにより、より高い精度と効率的な製造プロセスが可能になります。この急速な熱プロセッサはまた調節可能な大気機械を特色にします。精密なスイープガスツールを使用して、ベーキング中に繊細な部品を保護したり、窒素をチャンバーから排出したりすることができます。この資産は、敏感な製造プロセス中により制御された雰囲気を可能にします。RTP 381 SAは、最高の安全基準を念頭に設計されています。過熱や過圧保護などのさまざまな安全機能、緊急停止ボタンやバックアップ炉アラームが含まれています。全体的に、PREMTEK RTP 381 SAは、最新の製造プロセスに最適な高度な急速なサーマルプロセッサです。プロセスのすべての段階を精密に制御し、欠陥の少ない高品質の部品を保証します。
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