中古 PREMTEK RTP 381 SA #9312338 を販売中

PREMTEK RTP 381 SAは、最適化されたサイクルタイムで優れたパフォーマンスを提供するように設計された高度な高速サーマルプロセッサです。RTP 381 SAは、独自のクローズドループ熱制御システムと高度な電源制御機能を使用して、正確な熱安定性を提供し、高い熱伝達レートを実現します。このデバイスは、最大直径200mm、最大高さ25mmのウェーハを処理できます。反復可能で信頼性の高い熱制御を提供し、高精度の熱処理を実現するように設計されています。このシステムは、低い窒素圧力アニーリング（LNPA）を利用し、プログラム可能な加熱および冷却プロファイルを備えています。これは、最大1300°Cの温度範囲を持ち、ランプアップおよびクールダウンサイクル中に最大1500ワットのピーク電力レベルに達することができます。連続流量シャワープレートにより、ウェーハ表面全体に均一な温度分布が可能となり、プロセスの均一性が向上します。さらに、このデバイスにはデュアルアームの空気変位ユニットが内蔵されており、ウェーハ表面のさまざまな位置で均一な熱流束を提供します。PREMTEK RTP 381 SAは、シリコン、ヒ素ガリウム、その他の半導体材料など、さまざまな基板材料に適用できます。このデバイスは、偶発的な過熱または危険なメルトダウンの可能性を減らすために、安全制御を進めています。さらに、RTP 381 SAはアクティブフォースセンサーを使用して、ウェハ温度をリアルタイムで監視します。PREMTEK RTP 381 SAには、効率を改善し、最適化されたプロセスサイクルを提供するためのさまざまな機能セットがあります。これらの機能には、プログラム可能なメモリモード、マルチレベル温度履歴ロギング、高解像度温度ラベリング、シフトパターンおよびスポットパターン温度補正、およびレチクルパターン温度補正が含まれます。さらに、このデバイスは、精度を損なうことなく最高の性能を提供するために、特定のプロセスのニーズに合わせてさらにカスタマイズすることができます。