中古 PEAK SYSTEMS ALP 5000 #9223657 を販売中

PEAK SYSTEMS ALP 5000は、ウェーハの精密かつ再現可能な熱処理のために設計されたラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。この装置は、3つの独立した熱工程を順番に使用して、最高効率の高性能工程を作成します。イニシャルプロセスはウェーハの直接励起であり、ウェーハの下の抵抗発熱体の急速な点滅を使用して達成されます。これにより、ウェーハの幅を均一に制御したサーマルプロファイルが作成され、ウェーハ内の熱励起ゾーンを正確に配置できます。2つ目のプロセスは、予め定義され、システムにプログラムされた段階的なサーマルランピングプロセスであり、加熱および冷却サイクルを特定のプロセスに微調整することができます。3番目と最後のプロセスでは、一連のリフロー工程を適用して、ウェーハ表面に高精度で均一な温度分布を作成します。これにより、ユニット内で処理されるすべてのウェーハに対して一貫したサーマルパターンプロファイルが保証され、温度変化や制御されていない温度変化を排除できます。機械は作動し易く、予め設定された熱ランピングシーケンスおよび調節可能な温度セットポイントのためのユーザー定義された変数を含むいろいろカスタマイズ可能な特徴と設計されています。また、ウェーハの温度プロファイルと温度範囲の入力を可能にする、プログラミングオプションの範囲をユーザーに提供します。ウェーハの温度を常に監視し、安全性と信頼性を確保するための追加の安全機能がプログラムに組み込まれています。ALP 5000は、急速な熱処理のための幅広いオプションを提供し、ユーザーは特定のニーズに合わせてプロセスを調整することができます。その柔軟性と精度により、サーマルプロファイルとサーマルランプシーケンスの精度が保証され、ユーザーは最小限の労力でプロセス性能を最大化できます。プロセスを調整してパフォーマンスを最適化し、最新の電子部品製造の要求に応えるコスト効率の高いソリューションを作成できます。