中古 NEWYOUNG RTA-150H-SP1 #9134152 を販売中

NEWYOUNG RTA-150H-SP1は、幅広いウエハサイズの正確で信頼性の高い再現可能なサーマルサイクルを提供することができる急速なサーマルプロセッサです。ウェハダイシング、ウェハファブリケーション、ウェハレベルアセンブリなど、半導体製造プロセスのすべての要件を満たすように設計されています。これは、高出力または低出力デバイスの生産など、大量および高度なアプリケーションに最適な包括的な熱処理ソリューションです。RTA-150H-SP1にはマルチゾーン温度制御装置があり、各ゾーン温度は急速に制御可能で、均一で再現性のある結果が得られます。プロセッサには、熱処理の前に手動または自動ウェーハのソート用のデュアルゾーンフィーダーシステムが装備されています。このユニットは、ウェーハの積み下ろし時に正確なタイミングとゾーン制御を可能にし、精度と再現性を確保します。デュアルゾーンフィーダマシンを使用すると、ウェーハサイズに基づいて最適なサーマルサイクルを自動的に選択できます。また、ウェーハの過熱やアンダーコールを防止する5つのセンサー保護ツールを備えており、最適な温度精度と再現性を保証します。NEWYOUNG RTA-150H-SP1は300リットルのプロセスチャンバー容積と1-10 Torrのプロセス圧力範囲を持っています。それは700°Cまで任意の20-250°Cの調節可能な、可変温度範囲プロセス窓を、提供します。プログラマブルランプレート範囲は30〜600°C/秒で、温度反復性を高めるための動的温度リミッターとヒステリシスが含まれています。カスタマイズ可能なプロセスコントローラには、最大10個のプログラムが保存され、プロセスパラメータは最大500ステップです。このマシンはオプションのリモートio-Link制御アセットを備えており、プロセスチャンバー外からの温度、圧力、ガスの流れをプロセスモニタリングおよびデータロギングできます。全体として、RTA-150H-SP1は信頼性の高い堅牢な熱処理ソリューションであり、幅広いパラメータに対して精度と柔軟性を提供します。独自のデュアルゾーンフィーダモデルにより、ウェーハレベルの処理の信頼性と再現性が保証されます。また、高度な5センサ保護装置により、最適な温度精度と再現性が保証されます。調整可能な可変温度範囲のプロセスウィンドウとカスタマイズ可能なプロセスコントローラを備えたこのプロセッサは、高出力または低消費電力デバイスの製造を含むさまざまなアプリケーションに最適なオプションです。