中古 NEWYOUNG RTA-150H-AVP1 #9308219 を販売中

NEWYOUNG RTA-150H-AVP1は、NEWYOUNGが高密度電子デバイスの量産用に開発した先進急速熱処理装置（RTP）です。このRTPは、複数の熱処理ステップに対応し、さまざまな基板やウエハ形状に対応しながら、業界をリードするスループット・レートを実現します。RTA-150H-AVP1は非常に柔軟性があるように設計されており、ユーザーは単一のレシピ内でさまざまなシーケンシャル処理ステップを実行することができます。NEWYOUNG RTA-150H-AVP1は、新しい熱技術と均一な加熱システムを使用して、ウェーハ全体の温度制御と精度を向上させます。これにより、単一のウェーハを実行するか、バッチ処理を実行するかにかかわらず、再現可能なプロセスが保証されます。このシステムは、高密度インプラントやドーパント活性化などの高度なアプリケーションや、緊張したシリコンドーピング用のアニール工程に幅広く最適化されています。RTA-150H-AVP1は急速冷却も可能で、最大20K/secの冷却速度を実現しています。この機能により、処理時間が短縮され、再現性が向上し、製品歩留まりが向上します。さらに、NEWYOUNG RTA-150H-AVP1は安全で信頼できるように設計されています。自動ウェーハマッピングや直感的なソフトウェアインターフェイスなど、非常に直感的で操作が簡単です。メンテナンスと保守性も強化され、メンテナンスと修理のダウンタイムを最小限に抑えます。さらに、RTA-150H-AVP1はさまざまな高度な診断および安全監視ツールと統合されており、電磁干渉が困難な環境でも安全で一貫したプロセス結果を保証します。また、反応室設計を最適化し、高純度の高感度プロセスを維持することができます。この比類のない汎用性により、NEWYOUNG RTA-150H-AVP1は多数の高度なマイクロエレクトロニクスアプリケーションに最適なソリューションです。