中古 MPTC RTP-600XP #168733 を販売中

MPTC RTP-600XPは、産業および先進的な研究アプリケーションの厳格な要件を満たすように設計された最先端のラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。それは高められた均一性、優秀な熱安定性および最小にされた用具のダウンタイムのために十分に最適化されました。DRAM成膜、高温硬化、急速アニール、誘電体材料の充填など、さまざまな用途で使用できる独自の多目的機能を備えています。このデバイスは、先進のDirect Plasma Source Equipment （DPPS）を備えているため、現場の他の多くの処理システムよりも信頼性が高く効率的です。このシステムにより、急速なサーマルプロセッサは800°Cまでの温度に着実かつ迅速に到達するとともに、プロセス全体で正確なプラズマ制御と高い均一性を実現します。さらに、位置検出、熱電対制御、ガス制御、高精度温度制御などの高度な安全機能も備えています。RTP-600XPには、カスタマイズの利便性のために特定のタスクを実行することができる一連のモジュールが含まれています。サーマルゾーンは加熱と冷却の均一な動作を可能にし、真空チャンバーは基板の正確なアライメントを保証します。さらに、ウェットエッチングチャンバーは基板の洗浄とエッチングを可能にします。このデバイスは高度なアルゴリズムとディスプレイを備えており、ユーザーはプロセスを簡単に表示および制御できます。基板ポジショナーは調整可能で、操作中に柔軟性を提供します。このデバイスは、堅牢なビルドとマテリアルメイクで、簡単に使用およびメンテナンスできるように設計されています。MPTCのRTP-600XPは産業か高度の研究の適用のための完全な選択です。その直接プラズマソースユニット、フレキシブルモジュラーマシン、精度により、今日市場で入手可能な最も信頼性が高く効率的なサーマルプロセッサの1つになります。幅広いアプリケーションに必要な性能と精度を提供するだけでなく、コンパクトで管理しやすい形で実現します。