中古 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600XP #9262681 を販売中

MPTC/MPT モジュラープロセステクノロジー/MPTC RTP-600XPは、加工されたウェハサンプルの均一な加熱および冷却に使用される急速なサーマルプロセッサです。ハロゲンランプとペルチェ効果の組み合わせを使用して、素早くデバイス基板を加熱、冷却、アニールします。これらの急速な熱処理は急速な熱酸化、急速な熱アニーリング、急速な熱窒化、急速な熱拡散および急速な熱レーザー切除のようなさまざまな適用で使用されます。MPTC RTP-600XPは温度制御の最高の精密そして反復可能性のために設計されています。独自のEdge Energy Control Plateテクノロジーにより、ウェハの周囲に正確かつ均一な電力分布を提供し、非常に低い熱勾配を提供します。モジュラープロセステクノロジーRTP-600XPは、基板温度を最大600°Cまで急速に上昇させることができ、また、単一のウェハおよび並列構成をサポートしているため、さまざまなアプリケーションに適しています。さらに、RTP-600XPには、損傷から保護し、最適な動作を維持する高性能のセキュリティおよび安全システムが装備されています。これらには、標識付きおよび過熱保護付きのパワーモニタ回路、およびシステムの光学系を保護するためのハードウェア保護シースが含まれます。さらに、システムとサンプルの効果的な冷却と光学系の冷却を確実にするための高効率、低ノイズファンを備えています。モジュラープロセステクノロジー/MPTC RTP-600XPは操作が簡単で、汎用性の高いデータロギング機能とカスタマイズ可能なウェーハレシピを提供します。また、オートメーション機器やアプリケーション固有のソフトウェアと統合して、完全に自動化された処理を可能にすることもできます。さらに、小型のフットプリントとモバイル設計により、研究および品質保証アプリケーションでの使用に適しています。全体として、モジュラープロセステクノロジー/MPT MPTC RTP-600XPは、さまざまなウェーハ処理タイプに理想的な急速サーマルプロセッサです。それは精密、有効、最高の安全および反復可能性のために設計されています。また、さまざまなアプリケーションに適した便利な機能を幅広く提供していますが、小型の設計とモバイル機能により、小規模な研究室や施設での使用に適しています。