中古 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #293768994 を販売中

モジュラープロセステクノロジー/MPTC RTP-600Sは、半導体製造における幅広いプロセス用途向けに設計された汎用性の高いラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。この高精度ツールは、小型基板およびウエハサンプルの温度を1000°Cまで急速に上昇させるように特別に設計されており、高速サイクル時間と優れた再現性で信頼性の高いプロセス性能を提供します。MPTC RTP-600Sは、高度なRTP （Rapid Thermal Process）技術を使用して、高品質の結果を生み出します。本装置は、基板を急速に加熱する電磁誘導加熱技術を活用し、熱伝導システムに伴う熱応力や熱勾配を避けながらサイクルタイムを短縮します。急速熱処理技術は、半導体アプリケーション向けに開発され、加熱基板の温度プロファイルを最適に制御します。モジュラープロセステクノロジーRTP-600Sは、データロギングユニットと全温度監視と制御を内蔵したクローズドループプロセスシステムです。機械はアニーリング、酸化、窒化、注入および他の拡散プロセスのようなさまざまなプロセスをするのに使用することができます。このツールには、ウェーハからの光強度を測定する機能や、不活性環境と反応環境の両方で加熱する機能などのオプション機能もあります。RTP-600Sは、優れたプロセス再現性と高速サイクル時間で高い信頼性と堅牢な性能を提供するように設計されています。この資産にはユーザーフレンドリーなコントローラがあり、オペレータはレシピを素早く簡単にプログラミングし、プロセスを監視できます。また、ウェーハローダーと自動アンロード装置を内蔵しており、複数のウェーハを1回で簡単に実行できます。モジュラープロセステクノロジー/MPTC RTP-600Sは、半導体メーカーにとって信頼できるパートナーです。使いやすい操作と堅牢な性能により、信頼性の高いプロセス性能と高速なサイクルタイムを提供し、優れた再現性を提供します。これは、効率的で信頼性の高いRTPユニットを探している企業にとって最適なソリューションで、半導体デバイスの生産におけるサイクルタイムを短縮できます。