中古 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #293595367 を販売中

モジュラープロセステクノロジー/MPTC RTP-600Sは、半導体メーカーや研究室が大型ウエハ上のフィルムをアニール、ドープ、成長させるために使用する高度な急速熱処理プロセッサです。MPTC RTP-600Sは、スタンドアロンツールとしても、より大きなウェハスケールのサーマルプロセスシステムの一部としても使用できるように設計されています。それは直径300mmまでのサンプルを処理するのに多数の、独立して制御された部屋の地帯を使用します。高速ランプアップ/ダウン機能により、多くの種類の高温プロセスに適しています。モジュラープロセステクノロジーRTP-600Sは、8kWまで温度に達することができる強力な1250oC IR加熱源が付属しています。また、独自の反射加熱装置を採用し、ウェーハ全体で均一な温度を維持しながら、システムを素早く上下させることができます。このユニットには、最適な結果を得るためにランプレートと最大温度の両方を設定できるインテリジェントな熱制御ソフトウェアも付属しています。さらに、RTP-600Sは特許取得済みのクールダウン技術を利用して、プロセスチャンバーの崩壊時間を1秒未満に最小限に抑えます。これにより、プロセスの迅速なターンアラウンドが実現され、スループットが向上します。このマシンには、複数のセンサーとPLCベースのユーザーインターフェイスが装備されており、熱処理を正確に監視および制御できます。最後に、モジュラープロセステクノロジー/MPTC RTP-600Sは、安全性を念頭に置いて設計されました。火災検知および抑制システム、緊急停止ツールが付属しています。さらに、排気濾過アセットには、プロセス環境から危険物質を除去する活性炭フィルターが内蔵されています。全体として、MPTC RTP-600Sは、信頼性が高く高速なサーマルプロセッサを探しているすべての半導体メーカーまたは研究室にとって優れた選択肢です。強力な加熱源、高速ランプレート、優れた安全機能により、ウェハスケールの高温処理に最適です。