中古 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600 #9392903 を販売中

MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600
ID: 9392903
ウェーハサイズ: 5"
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 5".
MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600は、赤外線LED、フォトダイオード、フォトニック結晶、ナノ構造などのオプトエレクトロニクスおよびその他のデバイス部品を正確かつ迅速に処理するために設計された急速なサーマルプロセッサ(RTP)です。MPTC RTP-600は、急速アニーリング、精製、再結晶化など、さまざまな急速熱処理(RTP)を実行するように設計されています。モジュラープロセス技術RTP-600は1100°Cまでの温度で急速な熱処理に使用することができます。その中心部品は、電気加熱チャンバー、空気またはヘリウムサーキュレータファン、温度コントローラ、およびRTU (Rapid Thermal Unit)で構成されています。冷却装置は熱電クーラー、空気送風機、循環ポンプで構成されています。RTP-600は0〜1100°Cの温度範囲を持ち、プログラマブルな高温ランプ/ソークサイクルを備えた高度なプロセスコントローラと、独自のユーザー定義の酸化、拡散、アニーリングプロファイルによって制御されます。温度ランプの周波数は毎分5000度まで達することができます。また、ガラス、セラミック、金属などの複数の向きウエハや多くの基板にも対応できます。モジュラープロセステクノロジー/MPTC RTP-600は使いやすく、セットアップとインストールを最小限に抑える必要があり、低熱予算と電力消費を維持しながら重要なデバイスパラメータのすべてをクリーニングしてプロセス制御を提供することができます。MPTC RTP-600は、温度を調節し、数度以内に維持できる高度な温度コントローラを使用しています。モジュラープロセステクノロジーRTP-600は、熱伝導性、反射率、放射特性などのデバイス材料の特性を検討するために、さまざまな試験条件を備えた多種多様なテストモジュールが付属しています。このシステムは、複数のデバイス構成とパッケージタイプにも対応しています。RTP-600は、プロセス要求に最適なソリューションであり、工業生産のためのより高いスループットを可能にします。これは、大手デバイスメーカーやプロセスラボによって広くテストおよび認定されており、繰り返し可能で正確な結果を保証することができます。自己診断装置、操作の容易さ、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアのような特徴によって、この機械は装置包装およびテストの必要性のための完全な解決です。
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