中古 EATON NOVA / AXCELIS Summit XT #9095589 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Summit XTは、600°Cから800°Cまでの温度でシリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、超硬合金などの高品質ウエハ材料を迅速に処理する高速サーマルプロセッサです。サブミクロンのリソグラフィー用途に特化して設計されており、ウェーハ作成のための金属層やその他の材料の正確なエッチングとドーピングを可能にします。AXCELIS Summit XTは、一度に最大18個のウェーハを処理でき、連続して実行できるため、複数のウェーハを短時間で製造することができます。この装置は、AXCELISが開発した誘導加熱技術を使用して、ウェーハを迅速かつ効率的に加熱します。このシステムはまた、Pulsar 12と呼ばれる4つのゾーンのホットウォールカルシナーを備えており、最適化された抵抗発熱体を備えており、正確な温度制御を可能にしています。EATON NOVA Summit XTは、高い精度と再現性、および熱酸化とエッチングのためのプロセスウィンドウを提供します。自動化されたコンピュータ制御プロセスステップと、オペレータの安全性を高める自己診断機能を備えています。このマシンには、デジタル温度プロファイルやゾーンごとの温度フィードバックなどの高度な診断機能も装備されています。リアルタイムのレシピデータベースが利用可能で、プログラム済みの再現可能なプロセスを可能にします。Summit XTは、特にポリシリコンなどの難加工材料を扱う場合に、優れたプロセス均一性とプロセス再現性を提供します。それは容易な修理およびサービスのためのモジュラー部品そしてreduplicative冗長性と設計されている低い維持の単位です。EATON NOVA/AXCELIS Summit XTには、内部熱電対の温度測定ポートやリアルタイムの自動動作を機械に提供するプロセスコントローラなど、多くの標準機能が含まれています。また、詳細なプロセス監視、自動安全ロックアウト、安全制御リレーも含まれています。このツールは、窒素とアルゴンの周囲制御オプション、オートガスのシャットオフ、リモートシャットダウン接続も提供しています。要約すると、AXCELIS Summit XTラピッドサーマルプロセッサは、ウェーハを精度と再現性で迅速に処理できるように設計された信頼性の高い正確な資産です。操作が簡単で、さまざまなプロセスオプションを提供し、高度な診断と安全機能を提供します。