中古 EATON NOVA / AXCELIS Reliance 850 #191216 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Reliance 850は、半導体産業における高精度かつ高速な熱処理のために設計された先進的な急速熱処理プロセッサです。優れた再現性と比類のない精度を保証する、市場で最も先進的な技術です。AXCELIS Reliance 850は、最大限の信頼性の高いサーマルウェーハ処理制御を提供し、欠陥の削減、ボトムラインの改善、利回りの向上を実現します。EATON NOVA Reliance 850は、ユーザー制御によるエラーを排除しながら、正確で一貫した熱処理を実現するように設計されています。プロセッサは、制御アルゴリズムを使用してリアルタイムアプリケーションを継続的に監視し、プロセス中に発生する可能性のあるバリエーションを補正するためにチャンバーの温度を継続的に調整します。この機能により、より再現性が高く、欠陥の少ない一貫性のある結果が得られます。このプロセッサは、ユーザーの正確な仕様に合わせてさまざまなカスタマイズ可能なオプションで調整することもできます。例えば、ウェーハの種類、温度範囲、およびプロセス時間の範囲を処理するように設定できます。これにより、複雑な生産または重要なプロセス・フローに理想的なソリューションとなります。Reliance 850は比類のない精度を提供します。パルス変調加熱技術を搭載しており、正確な温度に迅速かつ正確に到達できます。また、従来の急速サーマルプロセッサよりも高い制御レベルを備えているため、正確な温度に到達してそこに留まり、エラーを最小限に抑えます。さらに、プロセッサはヒーターまたはガスラインの温度と実際のウェーハ温度をリアルタイムでフィードバックすることができ、必要に応じて温度を調整することができます。EATON NOVA/AXCELIS Reliance 850は、ユーザーに比類のないパフォーマンスをもたらします。プロセッサは急速な熱処理の時間を可能にし、熱酸化物の欠陥の危険を減らし、歩留まりを改善します。さらに、熱プロセスの各ステップに最適な時間を予測できる高度な予測モデルを備えており、これまでよりも高速なプロセス時間を可能にします。最後に、AXCELIS Reliance 850には、システムを最大限に活用できる包括的なツールが付属しています。これらのツールには、熱負荷モデリング、プロセスチューニング、ヒータマッピング、ガス流量最適化、データロギングが含まれます。これらのすべての機能を使用すると、ユーザーはプロセスを監視して調整し、競争力のあるスピードで最高レベルの品質を生み出すことができます。全体として、EATON NOVA Reliance 850は単に市場で最も先進的な急速なサーマルプロセッサです。従来の性能を上回りながら、信頼性、再現性、高精度な加工結果を提供することができます。この技術により、半導体産業は進歩の限界を押し広げ、プロセスを最大限に効率化することができます。