中古 DNS / DAINIPPON LA-820 #9361601 を販売中

DNS/DAINIPPON LA-820は、熱処理アプリケーションで優れた速度と性能を提供する急速なサーマルプロセッサです。信頼性と歩留まりを向上させ、より高いスループットとスループットを実現するように設計されています。最大8ウェーハ機能をサポートし、表面全体に均一な温度分布を持つ1時間あたり最大12ウェーハを処理できます。最大500°Cの温度範囲で、DNS LA820は急速に温度をサイクルでき、処理時間を短縮するように設計されています。DAINIPPON LA 820のアーキテクチャは、最高の効率とパフォーマンスを実現するために設計されています。8ゾーンの独立制御ホットゾーンを備えており、機器全体で均一な温度と均一な処理を保証します。ホットゾーンは、アーク抵抗性に設計されており、処理中にホットゾーン表面のウェーハに破片や粒子が損傷するのを防ぐために構築されています。また、DNS/DAINIPPON LA820は、加工後のウェーハの急冷を可能にするオプションのメカニカルシャッターを提供し、回路の過熱ストレスを排除します。DNS/DAINIPPON LA 820には、熱電対、サーモパイル、光学ピロメータなど、さまざまなセンサーや解析ツールが搭載されています。熱電対はシステム内部の温度条件を監視し、サーモパイルは処理されたウェーハの温度を監視します。光学ピロメータは、処理中のウェーハのプロセスパラメータを分析するために使用できるホットゾーン表面の明るさ、または反射率を測定します。DNS LA 820は、リモートユニットの制御と監視のためのパーソナルコンピュータ（PC）またはWebベースのインターフェイスの選択が付属しています。PCインターフェイスは完全なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供しますが、Webベースのインターフェイスはインターネットに接続されているすべてのコンピュータからアクセスできます。Webベースのインターフェースにより、オペレータはあらゆるインターネット接続デバイスからLA 820を監視および制御できます。さらに、Webインターフェイスを使用して、マシンの設定をチェックしたり、自動化されたプロセスをプログラムしたりすることもできます。全体として、LA-820はあらゆる熱処理アプリケーションに最適です。8ゾーンの独立制御ホットゾーンにより、優れた性能と均一な温度条件を提供します。また、リモートコントロールと監視のためのPCまたはWebベースのインターフェイスの選択が付属しています。DNS LA-820のセンサと解析ツールは、急速な温度サイクル機能と組み合わせて、高速で信頼性の高い均一な熱処理に最適です。