中古 DNS / DAINIPPON LA-820 #9198238 を販売中

DNS/DAINIPPON LA-820急速熱処理プロセッサは、急速熱処理（RTP）の温度サイクルを実現する最先端のデバイスです。このデバイスは、一般的に超短熱処理による集積回路（IC）の製造に使用されます。これにより、プロセッサは微細なステップで分析することができ、その正確な温度制御と高精度は不要な熱損傷を防ぎます。DNS LA820は、チャンバー、ローラータイプ対流（RTC）機構、および急速な熱暖房および冷却技術を含む本体で構成されています。ローラータイプの対流は、均一な温度分布を作成し、RTPのためのチャンバーの内部に熱を転送するために使用されます。温度を正確に制御するために、加熱および冷却源の出力電力は、オンボード電源監視システムとユーザーインターフェイスによって管理されます。さらに、チャンバー内のリアルタイム温度を温度ベースで測定することで、各熱プロセスステップ全体で正確な温度制御が可能になります。その他、室温から1050°Cまでの広い温度範囲、± 3°Cまでの均一な温度分布、リアルタイムで温度を測定する中間赤外線光源などが特長です。さらに、1200°C/sの最大加熱および冷却速度は、RTPプロセスを容易にすることができます。高速サーマルプロセッサの利点LA820、コスト効率、高い均一性、簡単な操作性です。このデバイスは、半導体製造や太陽電池製造などのRTPアプリケーションに適しています。さらに、このデバイスは最大5つの加熱および冷却領域で構成することができ、広い領域内で均一な熱処理を行うことができます。さらに、その精度は熱応力を排除し、デバイスの機能性と信頼性を保証します。