中古 DNS / DAINIPPON LA-820 #9198165 を販売中

DNS/DAINIPPON LA-820は、高度な微細加工およびデバイス特性評価に特化した高速サーマルプロセッサ（RTP）です。高精度で再現性のある堅牢で信頼性の高い機器です。このシステムは、各リピートのサイクルタイムが10msの熱サイクルを生成することができます。熱処理温度範囲は-150°C〜550°Cで、解像度は0.1K、温度は2K ±です。このユニットには、サーマルサイクリング機能を備えた炉を備えた急速加熱ホットプレートと、不活性窒素またはアルゴンガス供給機を備えた囲まれた反応室が含まれています。反応チャンバーは、最大4つのウェーハの処理を可能にし、それぞれ8インチを測定します。直径で。チャンバーの温度範囲は25°C〜350°Cで、分解能は0.1K、温度は2K ±です。このツールには4軸翻訳ステージも含まれており、熱処理の際にウェーハの位置と向きを正確かつ正確に制御することができます。統合された制御資産は、高精度と精度を提供します。また、熱処理中に異常を検出することができ、高精度で複雑な熱処理に適しています。統合されたデータロギングソフトウェアにより、温度、ガス濃度、流量などのさまざまなプロセスパラメータを監視できます。DNS LA820には、クローズドループ温度制御モデル、フェイルセーフセンサー、過熱状況の自動シャットオフなど、いくつかの安全機能が装備されています。この機器には、高精度でデバイスのサーマルサイクリングシーケンス（ランプアップ/クールダウンシーケンスを含む）をプログラムできる熱操作ソフトウェアも含まれています。ダイニッポンLA 820は、高度な微細加工とデバイス特性評価に最適なシステムです。それは非常に急速な熱循環の機能および高精度および再現性の堅牢で信頼できる単位を提供します。様々なサーマルプロファイルを持つ複数のウエハの加工に適しており、様々な用途に適しています。