中古 DNS / DAINIPPON LA-820 #9148527 を販売中

DNS/DAINIPPON LA-820は、基板やウェーハの熱処理に使用される高速サーマルプロセッサ（RTP）です。RTPは、加熱素子、ガス制御システム、真空技術を組み合わせて基板の均一な熱処理を行い、チャンバー外の熱損失や放射を最小限に抑えます。DNS LA820は2つの独立して作動するチャンバを備えており、異なる段階で異なる温度を必要とするプロセスに最適です。各チャンバーが独立して作動するため、サイクルタイムの短縮、メンテナンスコストの削減、プロセス間の汚染の低減が可能です。また、温度制御システムを備えており、チャンバーからチャンバーまでの温度を正確に制御できます。RTPは、基板温度を連続的かつ独立して測定する高精度のピロメーターを備えています。これにより、プロセス中に正確な温度設定が維持されます。ピロメーターは900°Cまで温度を測定できます。部屋間の温度の均等性はまた± 1°C内にあります。ダイニッポンLA 820は、エネルギーコストを最小限に抑える高速サイクルタイムも備えています。それはガスの流れのコントローラーです各部屋のための独立したガスの流れ制御を可能にします。これにより、正確なガス制御が可能になり、確実な待機温度測定が可能になります。RTPの総サイクル時間は、通常、基板のサイズ、温度プロファイル、およびガスに応じて10秒からなります。ガス制御に加えて、LA 820には、統合されたスパイラルターボポンプと粗いポンプを含むアクティブ真空システムもあります。これにより、外部ポンプの必要がなくなり、プロセス間の汚染を防ぎます。統合された真空システムはまた、酸化や窒化などのプロセスに制御された雰囲気を提供します。全体として、DNS/DAINIPPON LA 820は、基板やウェーハに高精度で高温の熱処理を提供できる効率的な高速サーマルプロセッサです。これは、高速サイクル時間と正確な温度制御を提供し、信頼性の高いガス制御と制御された雰囲気を提供します。