中古 DNS / DAINIPPON LA-3000F #9009841 を販売中

DNS/DAINIPPON LA-3000Fは、半導体ウェーハの高速・低コストの熱処理を実現する先進的な急速熱処理プロセッサです。セラミックE -Beamソース、高度な温度制御、ウェーハ表面全体にわたって正確な温度均一性を備えています。DNS LA-3000Fで使用される電子ビーム（E-Beam）ソースは、低ドリフトと視線照明を備えた高速処理用に設計されています。また、クォーツライトトラップとエンタルピーバランスチャンバーを備えており、温度の均一性と信頼性を向上させています。これは、他のほとんどの急速なサーマルプロセッサよりも強力な発熱体と大きなチャンバーを利用しています。これにより、ウェーハ表面全体を均一に加熱するための急速な温度上昇率と急速な熱伝達が得られます。DAINIPPON LA-3000Fには高度な温度コントローラが装備されており、0。1°C単位で50°Cから1100°Cまで精密な温度制御を提供します。また、ウェーハ表面全体の温度をリアルタイムで監視し、それに応じて温度を調整する高精度均一度センサを搭載しています。これにより、一定の許容範囲内でウェーハの均一な加熱と冷却が保証されます。さらに、このデバイスには、最大1秒間の温度を記録できる高速チャートレコーダーが含まれています。LA-3000Fには、信頼性と効率的な操作を保証する多くの安全機能が含まれています。クォーツライトトラップとエンタルピーバランスチャンバーは、E-Beamによって生成される迷子光子と熱不均衡を排除します。また、処理中に中断されたレシピを回復する自動回復システムも備えています。最後に、セラミックウェーハキャリアは正確なウェーハアライメントを保証し、水晶窓は爆発による安全性を保証します。DNS/DAINIPPON LA-3000Fは、半導体ウェーハの急速熱処理に理想的なデバイスであり、多くの先進的な製造工場の必須部品です。精密な温度制御、急速な熱伝達、高度な安全機能、および最適化された性能のための改善された均一性を提供します。高速・低コストの熱処理に最適です。