中古 CENTROTHERM RTA 150 #9239213 を販売中

ID: 9239213
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2007
System, 6" Heating power: 50 kW Max process temperature: 1200°C Max ramp rate: 150 K/s Temperature accuracy: ±0.5 K Processing gases: N2, N2H2 Heating system: (24) Lamps, PWM Pressure controlled vacuum / Atmospheric LEYBOLD HERAEUS Dura Dry 105 Vacuum pump Applications: Annealing Dopant activation Dry oxidation Metal contact anneal Barrier metal anneal 2007 vintage.
CENTROTHERM RTA 150は、ドイツに拠点を置くテクノロジー企業であるCentrotec Sustainable AGによって製造された急速なサーマルプロセッサです。半導体および電子機器メーカーが熱処理に使用する信頼性が高く、効率的で強力なツールです。この装置は、さまざまな基板や材料に対して迅速で正確で均一な熱処理を提供するように設計されています。RTA 150は、熱プロセスを数秒で加熱、冷却、硬化することができます。特許取得済みのクールダウン技術を使用して、毎秒24°Cの速さで基板を冷却します。この急速なクールダウン技術により、一貫した再現性と均一な結果が保証されます。このシステムには高速なサーマルプロセッサが装備されており、迅速な温度遷移を可能にし、設定済みの温度プロファイルを正確に再現します。汎用性の高いCENTROTHERM RTA 150は、最高クラスの温度均一性を提供し、プロセス全体±平均最高温度は1°Cです。このユニットは、銅柱バンピング、超薄型ダイアタッチ、チップスケールパッケージフリップチップ組立プロセスなど、現代的で困難なプロセスに最適です。このマシンには、圧力センサや基板を保護するための安全インターロック、温度およびガス監視など、いくつかの組み込みの安全機能が付属しています。RTA 150にはユーザーフレンドリーなインターフェイスがあり、操作の遠隔監視と制御、データロギングとレビューが可能です。CENTROTHERM RTA 150は、今日の半導体および電子機器製造業界のニーズを満たすように設計された先進的な急速なサーマルプロセッサです。その高速熱伝達機能は、高度なプロセスに最適ですが、その非均一性と安全性の特徴は、一貫した信頼性の高い結果を保証します。
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