中古 CANON / MATTSON HP-8800 #9182853 を販売中

CANON / MATTSON HP-8800
ID: 9182853
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Rapid thermal processing (RTP), 8" 2000 vintage.
CANON/MATTSON HP-8800は、高速で信頼性の高いウェーハ処理を提供するために設計された高速サーマルプロセッサ(RTP)です。CANON HP-8800は温度およびアニーリング制御を提供し、エンジニアはさまざまなアプリケーションで大量のウェーハを簡単に処理できます。MATTSON HP-8800は-63°Cから350°Cの範囲の精密な温度調整を可能にします。最大30°C/秒の高速加熱および冷却速度を提供し、高度なアプリケーションに最適です。HP-8800は、各チャックを隔離するガスバンパーを備えており、動作中にそれぞれの間に反応を生じません。また、ウェーハチャックの必要性を排除し、ウェーハローディングとアンロードを高速化します。CANON/MATTSON HP-8800には最大4つのプロセスチャンバーが付属しており、さまざまな種類のウェーハ処理のための複数のセットアップとレシピを可能にします。また、自動緊急シャットオフ機能を備えており、ユーザーや機器の安全性を確保します。また、オプションの可動式チャックやホルダーにより、さまざまなウエハ形状やサイズに対応することがHP-8800ます。装置はまたユーザーが温度および他の変数を容易に調節することを可能にするユーザーフレンドリーなLEDスクリーンが装備されています。MATTSON HP-8800には、システムを監視および制御できるさまざまなソフトウェアパッケージが含まれています。たとえば、MPV1ソフトウェアスイートはプロセスパラメータを最適化でき、ERSOソフトウェアスイートはユニットへの安全なリモートアクセスを可能にします。HP-8800は酸化、沈着およびアニーリングのような多数の適用に、とりわけ適しています。このマシンは、ウェーハ加工の信頼性を向上させながら、コストと時間を削減するのに役立ちます。したがって、CANON/MATTSON HP-8800は、幅広いウエハ処理タスクに対応できる強力で信頼性の高いRTPです。精密な温度とアニーリング制御により、キヤノンHP-8800は最短時間で高品質の最終製品を保証します。
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