中古 CANON / MATTSON HP-8800 #293642958 を販売中

CANON / MATTSON HP-8800
ID: 293642958
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" 1999 vintage.
CANON/MATTSON HP-8800は、半導体デバイス製造に使用される高度な熱処理装置である急速熱処理装置(RTP)です。中量から大量の高品質生産部品を必要とする小規模生産に最適です。キヤノンHP-8800は、全自動マイクロプロセッサ制御システムを搭載し、再現性と精度に優れた操作性を実現しています。マイクロプロセッサは、温度プロファイル、冷却速度、圧力など、すべての処理パラメータを制御できます。MATTSON HP-8800の最高温度は1500°C、最高圧力は645 mbarです。4ゾーンのガスクエンチモジュールと、シーケンシャルサーマルサイクルを必要とする先端材料の処理用に新たに設計された水クエンチモジュールを備えています。HP-8800にまた基質の容易なローディングおよび荷を下すことのための直接記入のローラーシステムがあります。また、大型ウエハにおける処理の均一性を制御するオートデプス機能も備えています。さらに、CANON/MATTSON HP-8800は高度なマルチゾーン制御システムを使用して、処理パラメータをカスタマイズして最適化できます。ユーザーは容易に癒やす圧力、温度率、癒やすガスおよび水流量を調節できます。さらに、温度プロファイリングデータをリアルタイムに生成し、後でレビューするためにデータを保存することも可能なHP-8800です。MATTSON HP-8800には拡張ディスプレイとタッチスクリーンインターフェースが装備されており、ユーザーは処理パラメータ内で簡単かつ正確に変更することができます。さらに、このマシンにはプライベートおよび共有ネットワーク通信サポートが組み込まれており、複数のサイトで安全なバッチ処理が可能です。これはまた、マシン間の通信能力を高め、ネットワークに接続されている任意のコンピュータからのリモートアクセスを可能にします。全体として、HP-8800急速熱処理装置は、半導体デバイスの生産のための高度で汎用性の高い熱処理装置です。小型から大容量生産のための優れた再現性と精度を提供する信頼性の高い効率的なマシンです。
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