中古 BOC EDWARDS Helios #9203031 を販売中

BOC EDWARDS Heliosは、半導体、光電子、太陽電池、複合材料および医療機器産業向けの研究開発および生産アプリケーションにおける基板の迅速かつ再現可能な処理用に設計された急速なサーマルプロセッサです。それは基質の範囲の急速な熱アニール、硬化および他の物質的な処理解決を提供します。スパッタイオンメッキや有機化学蒸着（oCVD）などの多種多様な蒸着工具と併用してプロセス最適化を行うことができます。Heliosには2つの標準加熱入力チャンバがあり、マルチチャンバーシステム用のオプションの3番目と4番目のチャンバがあります。アプリケーションに応じて最大4つのサンプルを同時に処理でき、最高温度は1000°Cです。これらのチャンバーは、直径20mm、高さ10mmまでの容量があります。チャンバー内のサンプルホルダーは、ある程度の柔軟性を提供し、結果の再現性を向上させます。BOC EDWARDS Heliosのプロセスコントロールは非常に洗練されています。それに50°Cから1000°Cに温度の範囲のための正確な温度調整を、可能にする高度PIDの制御システムがあります。また、高度なプログラマブルランプレート制御を備えているため、ユーザーは垂直軸に事前に定義されたランプレートを作成して一貫したプロセス結果を得ることができます。ヒーターは、正確な制御のための多数のセンサーを備えたソリッドステートであり、ネットワーク統合のための堅牢なデジタル通信リンクです。Heliosはプロセス室環境とプロセスパラメータを完全に制御し、温度、酸素制御大気、圧力、真空などの熱処理パラメータを正確に制御できます。制御システムはまた、ガスの流れを制御し、誘電体などの材料蒸着に適したレベルに設定することができる濃度を監視する機能を提供します。BOC EDWARDS Heliosは、業界の安全基準に準拠した優れた安全機能を備えています。それに温度および圧力救助弁、過熱保護の切口および耐圧防爆エンクロージャがあります。また、プログラム可能な時間遅延と、地域の安全規制に準拠するために設定できるさまざまな安全設定を備えています。Heliosはまた、簡単なセットアップと操作のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供しています。全体として、BOC EDWARDS Heliosは高度で柔軟性の高い急速なサーマルプロセッサであり、さまざまな基板上で幅広い熱処理を実行できます。それに精密な温度およびプロセス変数制御、また広範囲の安全システムを可能にするよいプロセス制御技術があります。プロセスを最適化し、繰り返し可能で一貫した結果を保証するために、他のプロセスツールと組み合わせて使用することができます。