中古 BOC EDWARDS Helios #9203029 を販売中

BOC EDWARDS Heliosは、半導体材料の高速かつ効率的な熱アニーリングのために特別に設計された先進的な急速なサーマルプロセッサです。このデバイスは、高温や腐食性の化学物質などの過酷な環境下での金属、酸化物、化合物のウェーハ処理に最適なツールです。このシステムは、石英管炉（QTF）に高度な低酸素環境を採用しており、通常は数分の順序で、非常に短い時間でアニーリング処理を完了することができます。Heliosの急速な熱プロセッサは96mmから200mmまで及ぶ適用範囲が広い部屋のサイズおよび繊細な半導体材料の広い範囲の精密なアニールを可能にする厳しく制御された環境変数を提供します。それは2つの水晶管を特色にします；内部の水晶管は粒子状物質の蓄積を防ぐサンプルのnebulizationのために使用されます外の水晶管は部屋の中の温度そして環境を安定した保つ絶縁体として機能します。また、高速サーマルプロセッサは、自動バルブ閉鎖や排気などの高度な安全機能や、過熱や危険な溶媒への暴露のリスクを低減する圧力制御シールも備えています。また、幅広い温度範囲により、材料劣化のリスクを最小限に抑えた幅広い半導体材料のアニールが可能です。BOC EDWARDS Heliosの急速なサーマルプロセッサはまたプロセス部屋に基質がある間温度の絶対制御を可能にする高度SPS（基質の保護システム）を特色にします。これにより、熱変動を最小限に抑えてアニール処理を完了し、基材の温度をできるだけ一定に保つことができます。さらに、PID （Programmable Intensity Displacement）により、最適な温度プロファイルを作成するために、時間の経過とともに温度を調整してアニーリングプロセスを微調整することができます。全体として、Heliosは高速で効率的で安全なアニーリングプロセスを提供する先進的な急速熱処理プロセッサで、幅広い繊細な半導体材料に対応しています。その柔軟なチャンバーサイズ、正確な環境制御、高度な安全機能により、さまざまなプロセスに対応する信頼性と効率的なツールです。