中古 BOC EDWARDS Helios #9096427 を販売中

BOC EDWARDS Heliosは、半導体デバイスの製造に容易に組み込むことができるように、ケイ酸化、ドーパント活性化、欠陥治癒、金属化および結晶化などの熱アニーリングプロセスを可能にする高度な急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。ヘリオスの熱処理装置は1,200°Cまで温度を提供するために形成することができる高出力ランプおよびガス主導のヒーターの組合せを使用します。その堅く制御された暖房機能はアニーリング、再結晶化、堅くなることおよびパターン化されたアニーリングを含むプロセス適用の範囲にとって理想的です。BOC EDWARDS Heliosは、デュアルゾーンオブコントロールと特許取得済みのドープYAGヒートラジエーター方式を使用して設計されています。これにより、高い柔軟性とパワーコントロールが可能になり、ユーザーは高い忠実度と均一な処理を維持しながら、プロセス間を迅速に切り替えることができます。Heliosには強力なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）コントローラも含まれており、効率的な操作とプロセスの可視性の向上を可能にします。このシステムには、統合された赤外線カメラなどのさまざまな監視ツールが含まれており、分析ソフトウェアを通じてプロセスパラメータと機械のパフォーマンスを監視し、プロセスをリアルタイムで可視化します。さらに、BOC EDWARDS Heliosは、高いスループットレートを実現しながら、熱プロセスを正確に管理するための複数の制御スキームを提供します。これには、オープンループ制御、手動制御、完全自動化されたレシピ駆動制御が含まれます。また、Heliosは高い仕様のN2パージングユニットを備えています。これにより、大量の窒素を貯蔵する必要がなくなり、レシピの構築と管理のためのMicro ESCリアクタント機械も不要になります。これにより、プロセス関連材料が迅速かつ正確にツールに供給されるようになります。BOC EDWARDS Helios急速熱処理プロセッサは、高速で正確な熱処理を必要とするほとんどのアプリケーションに最適です。Heliosの柔軟な構成、堅牢な制御システム、直感的なソフトウェアにより、ユーザーはプロセス時間とコストを最小限に抑えながらデバイスのパフォーマンスを最大化できます。