中古 BOC EDWARDS Helios #168833 を販売中

BOC EDWARDS Heliosは、真空システム、abatement、および半導体製造のテクノロジーリーダーであるBOC EDWARDSによって製造された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。Helios RTPは、半導体デバイスの製造に使用するために特別に設計された高性能の並列ウェーハ処理装置です。BOC EDWARDS Helios RTPは、熱酸化、アニール、拡散、エッチングなど、さまざまな処理作業に単一の自動化ソリューションを提供します。最大直径8インチの時に最大16個のウェーハを処理でき、ウェーハの総負荷は68個です。Helios RTPは、拡張機能を備えたモジュラー設計を備えているため、生産ニーズに合わせてシステムを柔軟に構成できます。ユニットには5つの独立したモジュールがあり、それぞれに独自のコントローラがあり、均一で反復可能で信頼性の高いパフォーマンスを提供します。E-Century Automation Machineは、手動チューニングや頻繁なプログラム変更を必要とせずに、一貫した信頼性の高い結果を提供するために、処理作業を制御、監視、管理します。E-Century Automation Toolは、ファクトリーオートメーションおよびファブワイドおよびエンタープライズリソース管理（ERP）ソフトウェアなどのプロセス監視システムと統合し、既存の生産システムとの互換性を確保します。このウェハシャトルは、途切れることなくリアルタイムのプロセス制御を確実に行うことで効率を最大限に高めます。これにより、バッチのロードとアンロードに必要なオーバーヘッド時間が大幅に短縮され、生産サイクルの効率性とコスト効率が向上します。BOC EDWARDS Helios RTPは、半導体生産プロセスにおいて高いスループット、正確な制御、最大限の柔軟性を求めるメーカーに最適です。モジュール設計、均一な処理性能、統合されたソフトウェア、自動化された操作により、Helios RTPは最高の生産性で信頼性の高い再現性のある結果を提供します。