中古 BOC EDWARDS Helios-S #9203027 を販売中

BOC EDWARDS Helios-Sは、半導体業界で使用するために設計された急速なサーマルプロセッサです。現在市場で入手可能な最先端の急速熱処理（RTP）システムの1つであり、正確な温度制御と均一な熱分布を必要とするアプリケーションでの使用に最適です。Helios-Sは、高度な制御ソフトウェアを使用して、各サイクルにわたって正確な温度制御を保証します。1サイクルにつき最大3つの温度設定ポイントを提供し、内蔵のPIDコントローラで30℃から1250℃までの温度を正確に監視および制御できます。この装置には、2つのペリスタ検出システムと、サーマルマッピング用の複数のチャンネル出力が装備されています。さらに、危険な過熱シナリオが発生するのを防ぐさまざまな安全機能を備えています。これらには、過熱や過電流自動切断装置などが含まれます。機械は2つの部品から成っています；主要な部屋および暖房用具。メインチャンバーは、合計4つの加熱ゾーンと統合されたガス供給資産を有する石英壁で構築されています。加熱モデルは、チャンバー内の熱を均等に分配するハロゲンランプの3つの密閉カートリッジで構成されています。これにより、処理される基板の表面全体にわたって均一な温度が保証されます。装置の高度なプログラマビリティと温度プロファイルの範囲は、酸化、拡散、堆積、エッチング、埋め込みなどのプロセスに使用できることを意味します。さらに、付属のスキャンシステムにより、プロセスが必要な場所で正確に実行されるように、精密なアライメントが可能になります。BOC EDWARDS Helios-Sは、非常に強力で高精度な急速サーマルプロセッサです。これまでにない温度制御、均一な熱分布、サイクルタイムの短縮を実現し、高品質で高性能な半導体デバイスの製造を目指す企業にとって理想的な選択肢です。