中古 BOC EDWARDS Helios-S #9203025 を販売中

BOC EDWARDS Helios-Sは、半導体プロセスのパフォーマンスを向上させるために設計された、柔軟で高性能な高速サーマルプロセッサ（RTP）です。それは迅速かつ均一に安全なプロセスの範囲を行うことができます。ウェーハ全体で± 1°C以上の温度均一性を提供し、信頼性と費用対効果の高いパフォーマンスを提供します。Helios-Sは、小規模な研究アプリケーションと大量生産のために設計されています。25〜1200°Cの範囲で精密熱処理が可能。それは優秀な温度の均等性、均一な大気および均質な温度のプロフィールのための例外的な安定性を提供し、改善されたプロセス一貫性および反復性を可能にします。これは、従来の急速熱アニール（RTA）プロセスの高度なバリエーションを使用しており、高スループットの製造プロセスを可能にします。プロセッサは急速な昇降率を備えており、温度の均一で急速な変化を可能にします。これにより、精度と均一性が向上し、デバイスの性能が向上し、ダイサイズが小さくなります。BOC EDWARDS Helios-Sには、さまざまなプロセス要件に対応するための垂直および水平のチューブ構成が含まれています。また、最大300mmウェーハの片面および多面加工にも対応しています。従来のハイブリッドガス搬送装置を活用し、プロセスや不活性ガスの流れを提供しています。Helios-Sは、複数のプロセッサにネットワーク可能なカスタム設計のオートメーション制御システムを使用しており、柔軟なプロセスパラメータを可能にします。さらに、このユニットには高周波デバイス特性評価ツールの制御機能が含まれており、プロセス性能を向上させることができます。BOC EDWARDS Helios-Sは、便利で信頼性の高い操作のために設計されています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアを使用しており、ユーザーはマシンをすばやく設定および操作できます。便利なデータロギング機能を提供し、ユーザーは設定ポイントを変更してログ値をリモートで表示できます。さらに、プロセッサにはプロセス制御機能とデバイス検証機能が内蔵されており、反復可能なパフォーマンスを保証します。要約すると、Helios-Sは、さまざまな温度にわたって安全で高スループットな処理が可能な高度な急速熱処理プロセッサです。優れた温度均一性、均一な雰囲気、均一な温度プロファイルに対する優れた安定性を提供し、プロセスの一貫性と再現性を向上させます。また、便利なオートメーション制御ツールと便利で信頼性の高い操作のためのユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えています。