中古 BOC EDWARDS Helios-S #9096426 を販売中

ID: 9096426
ヴィンテージ: 2002
Gas abatement scrubber system P/N: Y12024010 2002 vintage.
BOC EDWARDS Helios-Sは、半導体およびその他の関連産業のニーズを満たすように設計された急速なサーマルプロセッサです。ウェーハ製造プロセスにおけるプロセス開発のための信頼性の高いプラットフォームです。この技術はアニーリング、急速な熱アニーリング(RTA)、酸化および拡散をカバーする広い応用範囲が可能です。Helios-Sテクノロジーは、ハードウェア、ソフトウェア、および高度な特許出願中のプロセス開発ツールを統合し、市場投入までの時間と最高の生産歩留まりを提供する完全な熱処理プラットフォームを提供します。BOC EDWARDS Helios-Sプラットフォームは、ユーザーが特定のアプリケーションに最適な条件にプロセス開発をカスタマイズできるようにすることで、さらなる効率性を提供します。Helios-Sプラットフォームを使用すると、プロセス開発者は、非常に低い熱循環時間、正確な温度プロファイル、可変デューティサイクル周波数、平均故障時間計算、自動レシピ作成、オンザフライのハードウェア構成などの機能を利用できます。これらすべての機能が組み合わされているため、ユーザーは目的のプロセス目標をより速く、より一貫して達成し、はるかに高い信頼性を持つことができます。BOC EDWARDS Helios-Sプラットフォームは、ユーザーに最高レベルの安全性と柔軟性を提供します。その安全機能には、堅牢な緊急停止機能、革新的なPower Up Sequence、自動クールダウン、および自動サーマルサイクリングが含まれます。柔軟なメニューコントロール機能により、アプリケーションに応じて設定を簡単に変更できます。また、さまざまなヒーターキット、耐熱ヒーター、コールドプレートから、特定のプロセス要件に合わせて選択することができます。Helios-Sテクノロジーは、最も包括的で効率的で信頼性の高いサーマルプロセッサであり、高度で高速なサーマルプロセッサを探している半導体業界の人々に最適です。堅牢なシステム設計、安全機能、自動化されたプロセス開発ツールにより、あらゆるプロセス開発プロジェクトのニーズを確実に満たします。
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