中古 BOC EDWARDS Helios 1 #9203075 を販売中

BOC EDWARDS Helios 1 Rapid Thermal Processorは、最新の半導体デバイスを高精度に処理するために設計された汎用性の高い信頼性の高い効率的なサーマルシステムです。最大300°C/秒の最大ランプレートで最大1,200°Cの急速熱処理が可能です。高速ランプを活用することで、サーマルサイクリング時間を劇的に短縮し、プロセス工程間のターンアラウンドタイムを短縮することができます。Helios 1には、500 mmから150 mmのウエハサイズの超高速クォーツサセプターが装備されています。それは独立して制御され、熱される異なった地帯と設計されています、よりよいプロセス制御のための精密温度のプロファイリングを可能にします。BOC EDWARDS Helios 1は、プロセスチャンバ全体で優れた均一性を提供し、各プロセスで再現可能な結果を達成します。さらに、カスタマイズ可能なアニーリングと拡散プロファイルを備えており、ベル、リレー、その他のアクセサリーを装備して、予熱および冷却ステージなどの高度な機能を可能にします。Helios 1は、高度なモーションコントロールとメンテナンス機能を備えています。手動での積み下ろし時間を短縮する自動積み下ろしタイルを搭載しており、ユーザーが簡単に熱プロセスをスケジュール、監視、調整できるソフトウェアが含まれています。また、データ収集機能を強化し、熱処理の監視と制御を強化します。BOC EDWARDS Helios 1は、高精度の結果を達成するために、非常に高速なサーマルランプ速度、優れた熱均一性、およびカスタマイズ可能なプロファイルを提供する信頼性が高く、効率的な急速なサーマルプロセスシステムです。Helios 1は、自動負荷/アンロードタイルおよび自動ヒーター交換と相まって、現代の半導体加工にとって非常に貴重なツールです。