中古 AXCELIS Summit #9298675 を販売中

AXCELIS Summit
ID: 9298675
ウェーハサイズ: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12".
AXCELIS Summitは、エンジニアと科学者がさまざまなプロセスで温度とタイミングを効果的かつ正確に制御できるように設計された急速な熱処理装置です。このシステムには、LEDタッチスクリーン、アクティブPID (Proportional-Integral-Derivative)制御、最新世代のAST (Advanced Sensing Technologies)熱技術などの高度な機能が搭載されています。この技術は、さまざまなプロセスで熱層パラメータを迅速かつ正確に自動的に検出および制御する機能を備えた比類のないプロセス制御ユニットを提供します。SummitのLEDタッチスクリーンは、さまざまな処理機能を迅速かつ簡単にプログラミングでき、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーはすぐにコマンドを入力して結果を表示できます。アクティブなPID制御装置を使用すると、プロセス中に基板の温度を正確に調整できます。このツールは、温度が重要な要因である基板上で発生するさまざまなプロセスの効率を最大限に高めます。AXCELIS Summitの高度なセンシング技術は、複数の材料層の熱層を同時に検出および制御するように設計されています。これにより、推測作業が不要になり、プロセスパラメータの監視と制御がこれまで以上に簡単かつ正確になります。また、Summitの高度なセンサーは、プロセスのパラメータを完全にリアルタイムでフィードバックし、プロセスの前、中、後の基板条件をより深く理解することができます。さらに、AXCELIS Summitは、ユーザーが特定のプロセス中にさまざまなパラメータを動的に制御できるように、さまざまな高度なコントロールで設計されています。また、ユーザーはプロセス変数を必要に応じてカスタマイズすることができ、プロセスパラメータを微調整することができます。これらのコントロールにより、ユーザーは必要に応じてプロセスパラメータをすばやく変更して、目的の結果を確実に達成することができます。サミットは、プロセスの温度とタイミングを制御するのに理想的な高度な急速熱処理アセットです。AXCELIS Summitの直感的なユーザーインターフェイスと高度な制御機能は、温度とタイミングの正確な制御を必要とするユーザーに最適なツールです。柔軟な制御機能により、プロセスパラメータを簡単にカスタマイズでき、最適なプロセス結果を確実に達成できます。
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