中古 AXCELIS Summit 300XT #9362104 を販売中

ID: 9362104
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" Process: Oxide, Anneal CIM: SECS GEM (2) Transfer loadlocks / Cooling stations Mini environment (2) Furnace process modules Transfer chamber (2) GENMARK Wafer handlers Factory interface: (3) FOUPs Load port non-functional 2001 vintage.
AXCELIS Summit 300XTは、ウェハベースの集積回路を製造するために設計された高性能の高速サーマルプロセッサです。Summit 300XTは、集積回路ウェーハの製造工程を改善し、コストを大幅に削減するために設計されました。AXCELIS Summit 300XTは、効率的で正確な熱処理のためのさまざまな機能を提供します。加工チャンバーには最新の熱効率の高い断熱材が組み込まれており、ウェーハの加熱と冷却を高速化します。さらに、チャンバの設計により、ウェハ転送装置を追加する必要がなくなり、従来の生産システムよりも迅速かつ信頼性が向上します。急速熱処理装置には、高精度、均一、再現可能な熱処理のための多段式加熱および冷却システムも組み込まれています。Summit 300XTはまた、精密な温度およびガス流量制御を備えているため、多種多様な製造プロセスに最適です。既存の生産システムに簡単に組み込むことができ、生産性を即座に向上させることができます。利便性を高めるために、このユニットはリモートアクセス機能を備えており、オペレータは遠隔地からの操作を監視および調整することができます。AXCELIS Summit 300XTは、安全で信頼性の高い操作を保証する高度な安全機能も備えています。このマシンには、過度の温度やガス圧を防ぐための緊急停止や、オペレータが問題を迅速かつ正確にトラブルシューティングできる高度な監視および診断システムが含まれています。Summit 300XTは、集積回路の生産プロセスを改善し、全体的なコストを削減するために設計された最先端の急速なサーマルプロセッサです。このツールは、均一かつ再現可能な熱処理、正確な温度とガスの流れ制御、緊急停止などの高度な機能を提供します。さらに、アセットを既存の生産システムに簡単に統合でき、リモートアクセス機能を追加して利便性を高めます。
まだレビューはありません