中古 AXCELIS Summit 300XT #9359564 を販売中

AXCELIS Summit 300XTは、さまざまな用途に高い生産性と精度の熱処理を提供するために設計された急速なサーマルプロセッサです。この装置は、最適化されたプロセスに乾燥空間アニーリングと高温共火を使用します。リボン状の放射ランプを備えたデュアルゾーンホットプレートと、熱予算を低減し、温度の均一性を向上させる再循環エアーフローを備えています。オプションの遠隔温度センサーを使用すると、温度を監視して処理条件を正確に制御できます。プロセッサは、ホットチャンバーからの人員保護のためのインターロックシステムと温度センサーを含む、強化された安全機能で設計されています。ユニークな循環気流ユニットは、チャンバー内の均一な温度を維持するのに役立ち、熱予算を最大50％削減します。これは、製品を処理するために必要な時間を短縮するのに役立ちます。このプロセッサは、半導体のアニール、ドーパントの拡散、酸化物の熱酸化などの用途向けに設計されています。また、非常に小さなサンプル領域のパッシベーション、合金化、再結晶化にも適しています。この機械には動的ガス制御ツールが組み込まれており、ユーザーはプロセス要件を満たすために炉の雰囲気を正確に調整することができます。活動的な固定ガス資産はガスの流れの均一な配分を保障します。Summit 300XTは、優れたスループットと信頼性を提供するように設計されています。このモデルの独自の小型フットプリントは、研究開発および生産設備におけるマルチプロセス機能をサポートするのに理想的です。この機器には革新的で統合されたコントローラがあり、効率を最大化し、プロセスの信頼性を最大化するのに役立つさまざまなセンサーと安全オプションが含まれています。AXCELIS Summit 300XTは、高温や狭いスペースを必要とするさまざまなアプリケーションに理想的なソリューションです。高められた安全、改善された効率、より高いスループットおよび熱処理の必要性のための精密を提供します。