中古 APSYSTEM KORONA-12SP #293666860 を販売中

APSYSTEM KORONA-12SPは、さまざまな半導体ウェーハを迅速に熱的に処理するために設計された急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。それはミリ秒以内にサンプルのピーク温度に達するために急速な加速を利用する高度の直接暖房の技術を使用します。このプロセッサは、化学蒸着（CVD）チューブと直接加熱カソードを内蔵しており、ウェーハ表面全体を均一に加熱することができます。KORONA-12SP自体は空冷であり、ウェーハの冷却に液体を使用しないことを意味します。このマシンにはマルチジェットプロセスモジュールが装備されており、プロセッサはウェハの環境を迅速かつ正確に変更できます。このモジュール内の圧力、ガスの流れ、温度を変更することにより、ユーザーはサンプル上の拡散または堆積の速度を制御することができます。APSYSTEM KORONA-12SPは、高度な電子レンジ加熱ラッチも備えています。このラッチは、治療中にウェーハをしっかり保持し、回転中に滑るのを防ぐために使用されます。ラッチには発熱体が内蔵されているため、処理中に別の熱源を必要としません。精密な温度制御を実現するために、KORONA-12SPには高度な赤外線温度検出装置が装備されています。ウェーハの温度を監視し、必要に応じて熱出力を調整します。APSYSTEM KORONA-12SPは、高品質の安全ユニットも備えています。プロセッサには警告アラームが装備されており、温度が設定された閾値に近づくとユーザーに警告します。さらに、サンプルが動作中に安全であることを確認するために、さまざまなロックとキャッチがあります。全体として、KORONA-12SPは信頼性が高く効率的なプロセッサであり、多種多様な半導体ウェーハを迅速に処理するように設計されています。その組み込みの化学蒸着管、直接加熱陰極、マルチジェットプロセスモジュール、マイクロ波加熱ラッチ、および赤外線温度センシングマシンは、正確かつ正確な熱処理を可能にし、最適な結果を保証します。さらに、その安全メカニズムは、プロセッサが常に安全に動作することを保証します。